[发明专利]一种多模干涉型全晶体波导分束器的制备方法在审
| 申请号： | 201810532366.1 | 申请日： | 2018-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN108732682A | 公开（公告）日： | 2018-11-02 |
| 发明（设计）人： | 姚一村;张丙元;都辉 | 申请（专利权）人： | 聊城大学 |
| 主分类号： | G02B6/13 | 分类号： | G02B6/13 |
| 代理公司： | 青岛致嘉知识产权代理事务所(普通合伙) 37236 | 代理人： | 李浩成 |
| 地址： | 252059*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 分束器 制备 多模干涉型 晶体波导 多模干涉型波导 刻写 加工精度要求 集成光子学 飞秒激光 精密机械 器件制备 制备工艺 离子 切割 | ||
【权利要求书】：
1.一种多模干涉型全晶体波导分束器的制备方法，其特征在于，步骤如下：
步骤A，选择一定尺寸的抛光晶体片作为衬底，通过离子注入形成平面波导；
步骤B，1）采用飞秒激光刻蚀或精密机械切割的方法制备一条入射波导；2）采用飞秒激光刻蚀或精密机械切割的方法制备多模波导；3）采用飞秒激光刻蚀或精密机械切割的方法制备N条出射波导。
2.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤A晶体片还可进行退火处理。
3.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤A晶体片的材料为掺杂或未掺杂的LiNbO3、YVO4、GGG、BBO、KDP晶体。
4.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤B各部分波导均为脊型波导结构，呈直线型。
5.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤B所述入射波导位于多模波导中轴线上，出射波导相对于多模波导中轴线呈对称分布。
6.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤B构成各波导的刻痕为非贯通型，各波导部分连接处无需进行横向刻蚀。
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