[发明专利]剥离液废液三级蒸馏回收系统

说明书

本发明公开了剥离液废液三级蒸馏回收系统，包括原料罐、一级蒸发器、二级蒸发器和三级蒸发器，一级蒸发器采用薄膜蒸发器，二级蒸发器和三级蒸发器均采用短程蒸馏器；原料罐内存储的剥离液废液通过进料管路进入一级蒸发器，经一级蒸发器蒸发的轻组分气体由顶部排出、重组分液体经中间罐I暂存后通过一级管路进入二级蒸发器；经二级蒸发器蒸发的轻组分冷凝后进入中间罐IV暂存后通过二级管路进入三级蒸发器；经三级蒸发器蒸发的轻组分冷凝后进入中间罐VI暂存后通过排料管路进入产品罐存储。本发明提供的三级蒸馏回收系统可对剥离液废液中的有机溶剂进行再生、利于重复循环利用，节约资源，且装置具有安装空间小，设备成本相对较低，操作维修简便。

技术领域

本发明涉及电子产品领域，具体涉及一种剥离液废液三级蒸馏回收系统。

背景技术

近几年国内电子制造产业发展迅速，剥离液等电子化学品的使用量也大为増加。通常在液晶显示面板、半导体集成电路等工艺制造过程中，需要用剥离液(Stripper)将涂覆在微电路保护区域上作为掩膜的光刻胶除去。通常使用的剥离液主要是有机胺和极性有机溶剂的混合物，并且还含有少量以水分为代表的轻组分。上述有机胺包括单乙醇胺(MEA)、二甲基乙酰胺(DMAC)、N-甲基甲酰胺(NMF)或N-甲基二乙醇胺(MDEA)等；极性有机溶剂包括二乙二醇甲醚(DGME)、二乙二醇单丁醚(DGBE)或二甲基亚砜(DMSO)等。在剥离液应用过程产生大量剥离液废液，该废液中除了含有少量高分子树脂(或PR胶)和水之外，大部分是有再利用价值的有机组分。通常清洗光刻胶需要大量的溶剂，而且这些溶剂价格绝不便宜，从资源化的观点出发，循环再生这些溶剂不仅可以减少对环境的危害，还能降低企业的生产成本。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是：通常清洗光刻胶需要大量的有机溶剂，而且这些溶剂价格较为昂贵，若将清洗光刻胶后的剥离液废液直接排污处理，则存在较大的资源浪费，本发明提供了解决上述问题的剥离液废液三级蒸馏回收系统。

本发明通过下述技术方案实现：

剥离液废液三级蒸馏回收系统，包括通过管路依次连接的原料罐、一级蒸发器、二级蒸发器和三级蒸发器，所述一级蒸发器采用薄膜蒸发器，二级蒸发器和三级蒸发器均采用短程蒸馏器；

原料罐内存储的剥离液废液通过进料管路进入一级蒸发器，经一级蒸发器蒸发的轻组分气体由顶部排出、重组分液体经中间罐I暂存后通过一级管路进入二级蒸发器；经二级蒸发器蒸发的轻组分冷凝后进入中间罐IV暂存后通过二级管路进入三级蒸发器；经三级蒸发器蒸发的轻组分冷凝后进入中间罐VI暂存后通过排料管路进入产品罐存储。

优选地，所述一级管路上设有水分检测仪，经水分检测仪检测合格的液体经一级管路进入二级蒸发器中处理，检测不合格的液体经一级回流管路返回至原料罐中存储。

优选地，所述回收系统还包括若干个添加剂罐，所述添加剂罐通过补充管路与产品罐连通；添加剂罐用于为产品罐补充所缺对应溶剂，以使产品罐输出产品的溶剂组分达到指定配比。

优选地，所述添加剂罐通过补充管路分别与二级蒸发器和三级蒸发器连通；添加剂罐用于依据对对应部位的溶剂浓度检测结果，向二级蒸发器和/或三级蒸发器中补充相应的溶剂。

优选地，所述进料管路、一级管路和二级管路上分别设有进料预热器、短程预热器I和短程预热器II；所述剥离液废液经进料预热器预热后进入一级蒸发器；一级蒸发器处理后的轻组分冷凝液经短程预热器I预热后进入二级蒸发器；二级蒸发器处理后的轻组分冷凝液经短程预热器II预热后进入三级蒸发器。