[发明专利]用于处理具有颗粒污染物的物体的系统

权利要求书

1.一种用于处理具有颗粒污染物的物体的系统，包括：

处理站，所述处理站包括用于保持待处理物体的保持器；以及

抽吸装置，所述抽吸装置与所述处理站流体连通，用于从所述处理站中移除颗粒污染物。

2.根据权利要求1所述的系统，其中，所述处理站还包括一个或多个喷嘴，所述一个或多个喷嘴被设置成与流体源流体连通，以将流体引导至所述物体并且从而从所述物体移除颗粒污染物。

3.根据权利要求2所述的系统，其中所述一个或多个喷嘴可相对于所述保持器移动。

4.根据权利要求2或3所述的系统，其中所述一个或多个喷嘴指向所述保持器。

5.根据权利要求3至4中任一项所述的系统，其中所述一个或多个喷嘴形成一个或多个阵列，每个喷嘴可相对于所述保持器移动。

6.根据权利要求3至5中任一项所述的系统，还包括用于控制所述一个或多个喷嘴的移动的控制器。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的系统，其中所述保持器包括具有通孔的基座，颗粒污染物可以穿过所述通孔。

8.根据权利要求7所述的系统，其中所述基座是可旋转的。

9.根据权利要求7或8所述的系统，其中所述抽吸装置被布置成与所述通孔流体连通，以用于通过所述通孔抽吸颗粒污染物。

10.根据权利要求7至9中任一项所述的系统，还包括具有主体的收集器，所述主体限定：

入口，已经穿过所述通孔的颗粒污染物可以通过所述入口；以及

出口，所述出口与所述抽吸装置流体连接。

11.根据权利要求2至10中任一项所述的系统，其中所述流体源是加压流体源。

12.根据权利要求2至10中任一项所述的系统，其中所述流体源是加压气体源。

13.根据权利要求2至10中任一项所述的系统，其中所述流体源是加压空气源。

14.根据权利要求1至13中任一项所述的系统，其中所述抽吸装置包括电机-风扇组件和前置电机过滤器，所述前置电机过滤器布置在所述电机-风扇组件上游，用于防止颗粒污染物到达所述电机-风扇组件的。

15.根据权利要求1至14中任一项所述的系统，还包括用于收集移除的颗粒污染物的颗粒污染物收集器。

16.根据权利要求2至15中任一项所述的系统，还包括具有壳体的防护罩，所述防护罩限定了腔室，所述保持器和所述一个或多个喷嘴布置在所述腔室中。

17.根据权利要求16所述的系统，其中所述壳体包括一个或多个门。

18.根据权利要求17所述的系统，还包括用于控制所述一个或多个门的打开和关闭的控制器。

19.根据权利要求16至18中任一项所述的系统，其中，所述壳体包括观察窗，通过所述观察窗可以观察所述腔室的内部。

20.根据权利要求16至19中任一项所述的系统，还包括布置在所述腔室中的至少一个传感器，所述至少一个传感器包括温度传感器、压力传感器、颗粒浓度传感器。

21.根据权利要求20所述的系统，还包括控制器，所述控制器与所述至少一个传感器可操作地连接，所述控制器布置成基于由所述至少一个传感器感测的状况来控制从所述一个或多个喷嘴分配的流体。