[发明专利]一种波片面相位延迟量的检测方法与装置

权利要求书

1.一种波片面相位延迟量的检测方法，其特征在于，用于检测待测波片(6)表面上每个点的相位延迟量，包括以下步骤：

利用ZYGO干涉仪(1)产生平面光波；

将该平面光波先处理为线偏振光波，所述线偏振光波再调节光束口径后得到限制光束口径的偏振光波，将所述限制光束口径的偏振光波照射到待测波片(6)上；

所述待测波片(6)包括第一表面(6-1)和第二表面(6-2)，通过五维调节架(7)调节待测波片(6)的位置，并调节ZYGO干涉仪(1)，使得待测波片(6)的第一表面(6-1)的反射光点和平面光波的反射光点重合，利用ZYGO干涉仪(1)计算第一表面(6-1)的面形，即得到待测波片的第一表面(6-1)反射的波面；

通过五维调节架(7)调节待测波片(6)的位置，并调节ZYGO干涉仪(1)，使得待测波片(6)的第二表面(6-2)的反射光点和平面光波的反射光点重合，利用ZYGO干涉仪(1)计算第二表面(6-2)的面形，即得到待测波片(6)的第二表面(6-2)反射的波面，计算待测波片(6)的第一表面(6-1)和第二表面(6-2)中每个点的相位延迟量。

2.根据权利要求1所述的波片面相位延迟量的检测方法，其特征在于，该方法需要的部件包括：ZYGO干涉仪(1)、计算机(2)、偏振片(4)、可调光阑(5)、待测波片(6)和五维调节架(7)，所述计算机(2)与ZYGO干涉仪(1)电连接，所述ZYGO干涉仪(1)上设置有标准镜头(3)，所述标准镜头(3)用于产生平面光波，沿所述平面光波的传播方向依次设有偏振片(4)、可调光阑(5)和待测波片(6)，其中待测波片(6)通过五维调节架(7)进行固定；

所述五维调节架(7)可在X轴、Y轴、Z轴、俯仰角α和倾斜角β五个方向上进行对待测波片(6)进行调节，其中X轴为与平面光波的光轴垂直平面的水平方向、Y轴为与平面光波的光轴垂直平面的竖直方向、Z轴为平面光波的光轴方向。

3.根据权利要求2所述的波片面相位延迟量的检测方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1，调节ZYGO干涉仪(1)使得安装在ZYGO干涉仪(1)上的标准镜头(3)产生标准平面光波；

步骤2，所述标准平面光波通过偏振片(4)产生线偏振光波，所述线偏振光波再通过可调光阑(5)限制光束口径，以得到小于待测波片口径的的偏振光波；将所述小于待测波片口径的的偏振光波照射到待测波片(6)上；

步骤3，通过五维调节架(7)调节待测波片(6)的位置，并调节ZYGO干涉仪(1)，使得待测波片(6)的第一表面(6-1)的反射光点和平面光波的反射光点重合，利用ZYGO干涉仪(1)计算第一表面(6-1)的面形，即得到待测波片的第一表面(6-1)反射的波面；

通过五维调节架(7)调节待测波片(6)的位置，并调节ZYGO干涉仪(1)，使得待测波片(6)的第二表面(6-2)的反射光点和平面光波的反射光点重合，利用ZYGO干涉仪(1)计算第二表面(6-2)的面形，即得到待测波片(6)的第二表面(6-2)反射的波面；

步骤4，分别对待测波片(6)第一表面(6-1)发射的波面和待测波片(6)第二表面(6-2)发射的波面进行处理，得到待测波片(6)面的相位延迟量三维显示图，即得到待测波片(6)面中每个点的相位延迟量。

4.根据权利要求3所述的波片面相位延迟量的检测方法，其特征在于，所述分别对待测波片(6)第一表面(6-1)发射的波面和待测波片(6)第二表面(6-2)发射的波面进行处理，得到待测波片(6)面的相位延迟量三维显示图，即得到待测波片(6)面中每个点的相位延迟量，包括：

通过式(1)得到待测波片(6)的面相位延迟量δ：

其中，λ为平面光波的波长，n₀待测波片的寻常光折射率，n_e待测波片的非寻常光折射率，Z_A(x,y)为待测波片(6)第一表面的面形函数，Z_B(x,y)为待测波片(6)第二表面的面形函数，d为待测波片(6)中心厚度。