[发明专利]透明吸波超材料

权利要求书

1.一种透明吸波超材料，包括三层结构组成的吸收器，其特征在于：所述吸收器包括有正方形透明导电ITO(1)、长方形透明导电ITO(2)和透明无机玻璃层(3)，所述正方形透明导电ITO(1)位于长方形透明导电ITO(2)的上层，所述透明无机玻璃层(3)位于长方形透明导电ITO(2)的中间部位。

2.根据权利要求1所述的一种透明吸波超材料，其特征在于：所述正方形透明导电ITO(1)的方阻为30Ω/□，所述长方形透明导电ITO(2)的方阻为50Ω/□。

3.一种透明吸波超材料的制备方法，其特征在于：具体包括以下步骤：

S1、石英玻璃的清洗与干燥

依次用丙酮、异丙醇分别清洗石英玻璃三次，然后置于乙醇中浸泡十分钟，用去离子水清洗三次后浸入去离子水中超声振荡10min；最后将玻璃置于鼓风干燥中干燥20分钟，温度60℃；

S2、采用磁控溅射工艺在180mm×180mm×2mm的玻璃上制备ITO薄膜

按照规定流程启动总电源，然后再大气状态下将溅射室泵抽至真空状态，然后把清洗干燥好的石英玻璃放入衬底托内，将其放入样品转台内，然后再将溅射室上盖落下；控制实验环境完成对石英玻璃的两面完成溅射，正面方阻：30Ω/□，背面电阻：50Ω/□，停止溅射镀膜，并且取出样品；最后关机，关闭电源；

表面电阻用四探针仪测试，更具实际情况改变参数；

参数设置

氧含量：7％-10％；压强：0.8-1.2Mpa；溅射电压：正面200-250V、背面150-200V；基底加热温度：290-310℃；

S3、根据实际尺寸于刻蚀机控制软件中画好图，然后利用激光刻蚀工艺刻蚀方块结构，制备出透明超材料吸波体样品；

激光工作功率：600-900mW；重复频率：20KHz；线宽：40μm；刻蚀速度：300-700mm/s。