[发明专利]表面尘埃粒子计数器

说明书

本发明涉及一种表面尘埃粒子计数器，包括：吸入其与待检测表面之间气体的采样吸气口；一端与采样吸气口相连接且其中流通采样气体的采样气路；对采样气体中所包含的尘埃颗粒进行检测和分类计数的激光颗粒计数装置；向待检测表面吹出气体的吹扫排气口；一端与吹扫排气口相连接且其中流通有吹扫气体的吹扫气路。表面尘埃粒子计数器还包括过滤器，采样气路的另一端经过滤器与吹扫气路的另一端相连接。采样吸气口、吹扫排气口设置在分析探头上。本发明适用于对表面附着的尘埃粒子进行检测和分类计数，解决了对待检测物体表面的尘埃粒子大小及数目进行分析检测的难题，具有良好的检测效果。

技术领域

本发明涉及一种粒子计数器，具体是一种针对待检测表面上附着的尘埃粒子的粒子计数器。

背景技术

以新型平板显示产业与空气净化产业为代表的先进制造产业中涉及到尘埃粒子监测技术的应用。此类行业中高等级洁净车间是空气净化产业的一个重要检测领域。高等级洁净房的颗粒度控制在＜0.1 μm（通常在0.2 nm~80 nm）的范围内，需要对尘埃粒子数进行重点监测。目前针对高等级洁净房空间内的尘埃粒子的监测，国内技术水平在逐步拉近与国外先进技术的差距。

除了空间内的粒子监测以外，对于附着于各式半导体机台、液晶面板、药品包装包材等表面的尘埃粒子也是影响产品质量、安全及性能的关键因素。但是目前对于表面尘埃粒子大小及数目的分析检测设备均为进口，由国外垄断，国内相关技术与设备处于空白阶段。

发明内容

本发明的目的是提供一种针对待检测表面上附着的尘埃粒子进行检测计数的表面尘埃粒子计数器。

为达到上述目的，本发明采用的技术方案是：

一种表面尘埃粒子计数器，用于对待检测表面上附着的尘埃粒子进行检测和分类计数，所述表面尘埃粒子计数器包括：

与所述待检测表面保持检测距离以吸入其与所述待检测表面之间气体的采样吸气口；

一端与所述采样吸气口相连接且其中流通采样气体的采样气路；

设置于所述采样气路上并对所述采样气体中所包含的尘埃颗粒进行检测和分类计数的激光颗粒计数装置；

与所述待检测表面保持吹扫距离而向所述待检测表面吹出气体的吹扫排气口；

一端与所述吹扫排气口相连接且其中流通有吹扫气体的吹扫气路。

优选的，所述表面尘埃粒子计数器还包括过滤器，所述采样气路的另一端经所述过滤器与所述吹扫气路的另一端相连接。

优选的，所述采样吸气口、所述吹扫排气口设置在一分析探头上。

优选的，所述采样吸气口为一个，所述吹扫排气口为多个，且所述吹扫排气口环绕所述采样吸气口设置。

优选的，多个所述吹扫排气口并接或串接。

优选的，所述检测距离与所述吹扫距离相等。

优选的，所述激光颗粒计数装置包括：

驱动所述采样气体在所述采样气路中单向流通的真空泵；

发射激光照射所述采样气体并输出对应电信号的激光探测器；

控制所述真空泵、控制所述激光探测器所发射激光功率、接收并处理所述电信号而获得检测和分类计数结果的微电脑板，所述微电脑板分别与所述真空泵、所述激光探测器相连接。

优选的，所述激光探测器包括：

与所述微电脑板相信号连接而用于发射激光的激光器；

具有与所述采样气路相连通的腔体，并能够接收所述激光照射所述腔体中的所述采样气体后产生的光信号并将其转换成对应所述电信号的尘埃粒子监测传感器。