[发明专利]一种掩膜板搬运装置及其搬运方法

权利要求书

1.一种掩膜板搬运装置，其特征在于：包括搬运小车本体、位于小车本体内部的转置装置以及位于转置装置上方的掩膜板拾取检测装置；所述转置装置用于将掩膜板包装盒在竖直状态和水平状态之间转换，所述转置装置包括平台部、与平台部垂直连接且用于固定掩膜板包装盒的对接部以及带动平台部转动的驱动轴；所述掩膜板拾取检测装置包括与搬运小车本体固定连接的升降轴、在升降轴上垂直移动的竖直升降杆、固定在竖直升降杆上的水平位移杆以及位于水平位移杆上的掩膜板拾取结构；掩膜板包装盒包括两个轮子；其中所述平台部上设有固定掩膜板包装盒的多个定位结构，所述对接部位于平台部的侧边，其高度小于掩膜板包装盒在竖直状态下最底端距地面的高度，对接部的宽度小于掩膜板包装盒的两个轮子之间的距离，当掩膜板包装盒由竖直状态推入转置装置时，对接部可以嵌入掩膜板包装盒的轮子之间，使掩膜板包装盒的下底的下表面与平台部的上表面贴合。

2.根据权利要求1所述的掩膜板搬运装置，其特征在于：所述搬运小车本体包括基础框架，基础框架包括具有开放口的第一侧面、与第一侧面相对的第三侧面以及位于第一侧面和第三侧面之间且相对设置的第二侧面和第四侧面。

3.根据权利要求1所述的掩膜板搬运装置，其特征在于：所述搬运小车本体在第二侧面、第三侧面或第四侧面的至少一个侧面上设有周边扶手。

4.根据权利要求1所述的掩膜板搬运装置，其特征在于：所述搬运小车本体底部设有万向轮。

5.根据权利要求1或2所述的掩膜板搬运装置，其特征在于：所述搬运小车本体上设有固定所述转置装置的状态锁定机构。

6.根据权利要求1所述的掩膜板搬运装置，其特征在于：所述升降轴内设有传动机构；所述竖直升降杆通过所述传动机构连接实现升降。

7.根据权利要求6所述的掩膜板搬运装置，其特征在于：掩膜板拾取检测装置还包括位于水平位移杆两端的一组挡片。

8.权利要求1-7任一所述的掩膜板搬运装置的搬运方法，其特征在于，包括如下步骤：

S1：掩膜板包装盒进入搬运小车本体内，转置装置的平台部的表面与掩膜板包装盒的表面贴合，转置装置的定位机构固定掩膜板包装盒；

S2：转置装置的驱动轴带动平台部进行逆时针旋转90度，掩膜板包装盒从垂直状态转为水平状态，状态锁定机构固定此时的掩膜板包装盒；

S3：打开掩膜板包装盒，掩膜板包装盒的上盖移走，掩膜板拾取检测装置对掩膜板进行拾取；

S4：由外部驱动机构带动掩膜板拾取检测装置的升降轴转动，掩膜板拾取检测装置的竖直升降杆在升降轴向上移动；

S5：竖直升降杆上升至合适位置，清洗装置对掩膜板进行正反面检查与清扫；

S6：掩膜板包装盒移走，由外部装置将掩膜板承载台放置于平台部上，驱动竖直升降杆下降，将掩膜板放入掩膜板承载台。