[发明专利]一种基于相位法与合成波长法的绝对距离测量系统及测量方法在审
申请号: | 201810542352.8 | 申请日: | 2018-05-30 |
公开(公告)号: | CN108732580A | 公开(公告)日: | 2018-11-02 |
发明(设计)人: | 陈宁;郭刚祥;胡朋兵;张建锋 | 申请(专利权)人: | 浙江省计量科学研究院 |
主分类号: | G01S17/08 | 分类号: | G01S17/08 |
代理公司: | 杭州杭诚专利事务所有限公司 33109 | 代理人: | 尉伟敏 |
地址: | 310018 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 偏振分束棱镜 光电探测器 合成波长 相位法 测量 绝对距离测量系统 飞秒激光频率梳 检测技术领域 绝对距离测量 脉冲重复频率 参考臂光路 反射镜反射 飞秒激光器 声光调制器 高次谐波 距离测量 输出激光 系统结构 原路返回 测量臂 电连接 反射光 相位计 脉冲 掺铒 光路 量程 射入 反射 光源 计算机 干涉 | ||
1.一种基于相位法与合成波长法的绝对距离测量系统,包括:飞秒激光器(1)、偏振分束棱镜Ⅰ(5)、声光调制器(7)、0°反射镜(10)、偏振分束棱镜Ⅱ(13)、光电探测器1(14)、目标反射镜(16)、光电探测器Ⅱ(18)、相位计(19),其特征在于:所述飞秒激光器(1)输出激光经偏振分束棱镜Ⅰ(5)反射后,经声光调制器(7)后被0°反射镜(10)反射原路返回,反射光透过偏振分束棱镜Ⅰ(5)射入偏振分束棱镜Ⅱ(13)分成两束,一束为参考臂光路,穿过偏振分束棱镜Ⅱ(13)被光电探测器Ⅰ(14)接收,另一束为测量臂光路,被偏振分束棱镜Ⅱ(13)反射,经目标反射镜(16)后穿过偏振分束棱镜Ⅱ(13),被光电探测器Ⅱ(18)接收,所述光电探测器Ⅰ(14)与光电探测器Ⅱ(18)分别与相位计(19)电连接,相位计(19)电连接计算机(20)。
2.根据权利要求1所述的一种基于相位法与合成波长法的绝对距离测量系统,其特征在于:所述声光调制器(7)与0°反射镜(10)之间设有透镜Ⅱ(8)。
3.根据权利要求1或2所述的一种基于相位法与合成波长法的绝对距离测量系统,其特征在于:透镜Ⅱ(8)与0°反射镜(10)之间设有四分之一波片Ⅰ(9)。
4.根据权利要求1或3所述的一种基于相位法与合成波长法的绝对距离测量系统,其特征在于:飞秒激光器(1)与偏振分束棱镜Ⅰ(5)之间设有半波片Ⅰ(4)。
5.根据权利要求1或2或3所述的一种基于相位法与合成波长法的绝对距离测量系统,其特征在于:偏振分束棱镜Ⅰ(5)与偏振分束棱镜Ⅱ(13)之间设有半波片Ⅱ(12)。
6.根据权利要求1所述的一种基于相位法与合成波长法的绝对距离测量系统的测量方法,其特征在于:所述方法包括,步骤1:将飞秒激光器(1)的重复频率与载波相位频率锁定,确定测量零点;步骤2:依据距离测量的非模糊范围,确定加载调制信号频率;步骤3:飞秒激光器(1)发出的光通过无调制信号的声光调制器(7),经0°反射镜(10)反射原路返回,通过相位法得到未调制光的相位差;步骤4:在声光调制器(7)上加调制信号,产生合成波,飞秒激光器(1)发出的光通过声光调制器(7),经0°反射镜(10)反射原路返回,通过相位法得到频率调制光的相位差;步骤5:通过未调制光的相位差与频率调制光的相位差计算得到被测目标的绝对距离。
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