[发明专利]双频等离子体发生器

说明书

本发明涉及离子体发生器技术领域，尤其涉及一种双频等离子体发生器。这种双频等离子体发生器包括第一板和第二板，所述第一板置于第二板的上方位置，所述第二板置于导电轮上，第一板连接高频电源，导电轮底部连接低频电源。本发明的结构使得太阳能电池表面RIE处理有效地实现了深宽比在0.5~2可调。运用本发明制备的RIE绒面成功实现了0.6%以上的电池转换效率，效率得到了明显提升。

技术领域

本发明涉及一种在真空等离子体处理舱内用等离子体对工件进行处理的方法和装置，尤其涉及一种双频等离子体发生器。

背景技术

目前市场上的有单频等离子体发生器（光伏行业的RIE主要为单频发生器）和多频等离子体发生器。但目前的发生器装置多是平行板离子源区域，不同频率的射频电源加在同一个电极板上，通过可变阻抗等的分频装置对产生的等离子体属性做相应的控制。

中国专利CN101656200B公开了一种多频等离子体刻蚀反应器，包括采用不同频率的电能来激发等离子体从而使得由数个频率所致的等离子体的激发同时地导致数个不同的现象发生于等离子体内的步骤，其中这些现象影响入射在该工件上的等离子体的离子能量、等离子体的离子密度和等离子体化学性质。

中国专利CN1543662A公开了一种具有可调双频分压的等离子体反应器，提供一种用于处理衬底的设备和方法，包括第一电极的室，设置在所述室内并提供第二电机的衬底支架，第一电极或第二电极连接的低频电源，并且与一个或多个所述电机之间的可变阻抗元件连接。

中国专利CN101866809A公开了一种具有响应多个RF频率的等离子体处理器，一种处理工件的等离子体处理器包括具有频率2MHz、27 MHz、60 MHz的源，他们由三个匹配网络施加于包含工件的真空腔中的电极。可选择地由第四匹配网络将60 MHz施加于第二电极。

这些反应器的缺陷有：

1、射频电源所加的电极板同时为放置需处理器件（硅片）的载板，因此整个反应过程只能在载板静态的条件下完成，从而增加了生产过程中的等待时间，进而造成产能上的浪费；

2、产生的等离子体在垂直于电场的方向（水平方向）和平行于电场的方向（垂直方向）不具有独立性，这样就限制了对器件不同方向进行差异处理的应用。

发明内容

本发明旨在解决上述缺陷，提供一种双频等离子体发生器。本发明增强了等离子体水平方向和垂直方向的独立控制性，同时增加产能，减少设备成本。

为了克服背景技术中存在的缺陷，本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：这种双频等离子体发生器包括第一板和第二板，所述第一板置于第二板的上方位置，所述第二板置于导电轮上，第一板连接高频电源，导电轮底部连接低频电源。

根据本发明的另一个实施例，进一步包括所述导电轮上设有弹簧。

根据本发明的另一个实施例，进一步包括所述高频电源的频率范围是10~20MHz，功率为100~10000W。

根据本发明的另一个实施例，进一步包括所述低频电源的频率范围是0~1000kHz，功率为10~10000W。

本发明的有益效果是：本发明的结构使得太阳能电池表面RIE处理有效地实现了深宽比在0.5~2可调。运用本发明制备的RIE绒面成功实现了0.6%以上的电池转换效率，效率得到了明显提升。

附图说明

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。

图1是本发明的结构示意图；

其中：1、第二板，2、导电轮，3、高频电源，4、第一板，5、弹簧，6、低频电源。

具体实施方式