[发明专利]一种用于测量低能离子束流注量率和均匀性的装置

权利要求书

1.一种用于测量低能离子束流注量率和均匀性的装置，其特征在于：所述的装置包括夹持架、定位轴、固定板、探测器组件，

所述的夹持架表面分区放置样品并通过多根所述的定位轴固定所述的固定板，所述的固定板可沿所述的定位轴的轴向移动；

用于产生、放大和传递样品注量率、均匀性测量信号的多组所述的探测器组件可固定于所述的固定板上，

每组所述的探测器组件的直径小于12mm，所述的探测器组件的组数为3-7组，

每组所述的探测器组件包括彼此连接的塑料闪烁体探测器和光电倍增管组件。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：所述的固定板的材质为透明亚克力材料。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：每组所述的探测器组件通过其外表面的螺纹旋合固定于所述的固定板上。

4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：每组所述的探测器组件还包括密封于最外侧的探测器套筒，所述的探测器套筒包括可开闭的探测器套筒盖。

5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：每组所述的探测器组件还包括连接所述的塑料闪烁体探测器与所述的光电倍增管组件的硅油。

6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：所述的装置还包括高压电源、电子学插件与计算机，

所述的高压电源与所述的光电倍增管组件相连接；

每组所述的探测器组件的光电倍增管组件连接一路所述的电子学插件；

用于测量探测器信号的各路所述的电子学插件与所述的计算机连接。

7.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：所述的装置还包括数量与所述的定位轴一致的锁紧钉，用于从所述的夹持架的侧面紧固所述的定位轴。

8.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：所述的装置还包括将每组所述的探测器组件与所述的固定板锁紧连接的锁紧圈。