[发明专利]矩形平面镜夹具结构及夹持平面镜的方法有效
申请号: | 201810546272.X | 申请日: | 2018-05-31 |
公开(公告)号: | CN108802951B | 公开(公告)日: | 2020-05-26 |
发明(设计)人: | 刘翠翠;吴霞;王鑫;刘素平;马骁宇 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | G02B7/00 | 分类号: | G02B7/00;G02B27/62 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 汤宝平 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 矩形 平面镜 夹具 结构 夹持 方法 | ||
一种矩形平面镜夹具结构,包括:一固定臂、一连接臂和一夹持臂,所述固定臂的一端头部开有一第一凹型通槽;所述连接臂一端开有十字凹型通槽,该连接臂未开有十字凹型通槽的另一端与固定臂的第一凹型通槽螺接;所述夹持臂一端为一凸榫,另一端与凸榫同方向为一夹持端,所述夹持臂的凸榫端与连接臂的十字凹型通槽插接后螺接。本发明具有制备方式简单,成本低,且使用寿命长,可以做到精确、稳定的夹持平面镜。
技术领域
本发明涉及半导体激光器领域,尤其涉及一种矩形平面镜夹具结构及夹持平面镜的方法,用于半导体激光器光束光路方向改变或者光束合束等工艺之中。
背景技术
为了方便半导体激光器结构的制作过程中,改变光束传播的方向,可以减小半导体激光器器件的体积;对不同波长的光束进行波长合束工艺,对不同偏振态的光束进行偏振合束工艺,可以增加半导体激光器器件的出光功率。可见在半导体激光器结构的制作过程中会使用到诸多呈规则矩形的平面镜,包含反射镜或者平面合束镜等。因此,在半导体激光器器件的制作过程中,可以稳定、精确的夹持平面镜,且方便配合调整价对平面镜进行调节的夹具结构是非常必要的。在考虑此结构的方便性的同时,结构的成本也是非常有必要的,而采用设计简单化更有利于减少结构成本,因此多功能平面镜夹持结构应运而生。
发明内容
本发明的目的在于提供一种矩形平面镜夹具结构及夹持平面镜的方法,在半导体激光器进行光纤耦合封装等工艺时,其可对半导体激光器的光束进行光路的转变、光束合束等工艺,提高亮度,减小器件体积,在半导体激光器器件的制备工艺过程中起到夹持平面镜的作用。本发明具有制备方式简单,成本低,且使用寿命长,可以做到精确、稳定的夹持平面镜。本发明在使用过程中通过一根螺钉使夹具产生形变来夹持矩形平面镜,这种方式操作简单,使用方便,使半导体激光器器件的制备过程中的光路转变以及光束合束等过程变得简便易行。
本发明提供一种矩形平面镜夹具结构,包括:
一固定臂、一连接臂和一夹持臂,
所述固定臂的一端头部开有一第一凹型通槽;所述连接臂一端开有十字凹型通槽,该连接臂未开有十字凹型通槽的另一端与固定臂的第一凹型通槽螺接;所述夹持臂一端为一凸榫,另一端与凸榫同方向为一夹持端,所述夹持臂的凸榫端与连接臂的十字凹型通槽插接后螺接。
本发明还提供一种矩形平面镜夹具结构夹持平面镜的方法,包括:
步骤1:将夹持臂与连接臂相连,再将连接臂固定在固定臂上,形成T型的夹具结构;
步骤2:将一平面镜夹持在夹持槽口内,使光可以通过通光槽口;
步骤3:通过调整螺钉,使夹持臂狭槽两侧的弹性支臂之间的间隙变化;
步骤4:调整光路,完成矩形平面镜夹具结构夹持平面镜的方法。
本发明提供的矩形平面镜夹具结构操作简单,选用的材料为不锈钢和铝合金,利用材料自身的弹性形变进行操作,方便操作。
本发明提供的矩形平面镜夹持结构,采用一个螺钉调节夹具的间隙,不损伤矩形平面镜,不遮挡光路,结合调整架可有效地提高工艺效率和可靠性。
本发明提供的矩形平面镜夹具结构夹持槽口,结合较厚的第一夹持支臂,可以稳定的固定平面镜,使其保持在与第一夹持支臂平行的位置。
本发明提供的矩形平面镜夹具结构的精度高,能够满足半导体激光器的光路转变及光束合束等工艺的要求。
附图说明
为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明白,以下结合具体实施例,并参照附图,对本发明作进一步的详细如后,其中:
图1为本发明的固定臂示意图;
图2为本发明的连接臂示意图;
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