[发明专利]测量系统

说明书

一种测量系统包含变温容器、光学装置以及空调。所述变温容器包含透明板。所述光学装置包含第一光学传感器单元和第二光学传感器单元。所述空调安置在所述透明板与所述光学装置之间。

技术领域

本公开涉及一种测量系统，且涉及一种包含变温容器、光学装置以及空调的测量系统。

背景技术

半导体装置封装可经受某些可靠性测试。举例来说，可将半导体装置封装放置在变温环境(例如烘箱)中以供后续观测。光学装置(例如数字图像相关性(DIC)装置)可用于获得半导体装置封装在热循环期间的图像。变温环境可配备有透明板或窗以便于获取半导体装置封装的图像。然而，光学装置与窗之间的对流(例如热对流)可能会对通过光学装置获得的图像(例如图像偏差、失真等)产生不利影响。

发明内容

在一或多个实施例中，测量系统包含变温容器、光学装置以及空调。变温容器包含透明板。光学装置包含第一光学传感器单元和第二光学传感器单元。空调安置在透明板与光学装置之间。

在一或多个实施例中，变温容器包含透明板和邻近于所述透明板的空调。

附图说明

图1为根据本公开的一些实施例的测量系统的示意图。

图2为根据本公开的一些实施例的空调的示意图。

图3为根据本公开的一些实施例的变温容器的侧面剖视图的示意图。

图4A为根据本公开的一些实施例的通风单元的侧面剖视图的示意图。

图4B为根据本公开的一些实施例的通风单元的侧面剖视图的示意图。

图5为根据本公开的一些实施例的测量系统的描述。

图6为根据本公开的一些实施例的变温容器的侧面剖视图的描述。

图7A为根据本公开的一些实施例的待测量对象的弯曲的曲线图。

图7B和图7C为展示根据本公开的一些实施例的待测量对象的弯曲的图式。

贯穿图式和详细描述使用共同参考标号指示相同或类似元件。本公开的实施例将易于从结合附图进行的以下详细描述而显而易见。

具体实施方式

除非另外规定，否则如“在…上方”、“在…下方”、“向上”、“左方”、“右方”、“向下”、“顶部”、“底部”、“竖直”、“水平”、“侧面”、“高于”、“下部”、“上部”、“在…上面”、“在…下面”等空间描述是相对于图式中所展示的定向而指示。应理解，本文中所使用的空间描述是出于说明的目的，且本文中所描述的结构的实际实施方案可在空间上以任何定向或方式布置，其限制条件为本公开的实施例的优点是不因此布置而有偏差。

图1为根据本公开的一些实施例的测量系统1的示意图。测量系统1包含变温容器20、计算机100、光学装置30以及空调40。