[发明专利]一种氯气废气处理和氯气泄漏紧急处理的两用中和塔

说明书

本发明公开了一种氯气废气处理和氯气泄漏紧急处理的两用中和塔，其包括水塔，水塔内部中间位置安装有透气耐酸的第一缓冲层，水塔顶部装有第一喷头，第一喷头连接水泵，水泵进口是水入口；水塔底部连接废液池和废气入口，其顶部连接抽风机；水塔和废气入口之间安装有第二截止阀；该中和塔还包括和碱液塔，其内部中间位置安装有透气耐酸耐碱的第二缓冲层，碱液塔顶部装有第二喷头，第二喷头连接碱液泵，碱液泵连接碱液池；碱液塔底部连接废液池，其顶部连接水塔的第一缓冲层下方；碱液塔和水塔之间安装有第一截止阀，碱液塔的第二缓冲层下方连接废气入口。本发明的有益效果是可以处理日常运行产生的尾气，也可用于紧急泄漏处理。

技术领域

本发明涉及废气处理装置领域，尤其是涉及一种氯气废气处理和氯气泄漏紧急处理的两用中和塔。

背景技术

氯气是半导体工业常用的特气，主要用于蚀刻半导体材料。但是氯气的性质是剧毒、腐蚀性和氧化性，所以氯气尾气的处理也是非常严格的。目前氯气尾气处理主要的吸附式的药剂，药剂需要根据颜色判断是否变质，目前药剂进口居多，价格昂贵。另外氯气的应急泄漏又是另一个系统，通过抽风机抽出废气来喷洒碱液中和。

发明内容

为了解决上述问题，本发明提出了一种氯气废气处理和氯气泄漏紧急处理的两用中和塔。

为了实现上述目的，本发明采用如下技术方案：一种氯气废气处理和氯气泄漏紧急处理的两用中和塔，其包括水塔，水塔内部中间位置安装有透气耐酸的第一缓冲层，水塔顶部装有第一喷头，第一喷头连接水泵，水泵进口是水入口；水塔底部连接废液池和废气入口，水塔顶部连接抽风机；水塔和废气入口之间安装有第二截止阀；该中和塔还包括和碱液塔，碱液塔内部中间位置安装有透气耐酸耐碱的第二缓冲层，碱液塔顶部装有第二喷头，第二喷头连接碱液泵，碱液泵连接碱液池；碱液塔底部连接废液池，碱液塔顶部连接水塔的第一缓冲层下方；碱液塔和水塔之间安装有第一截止阀，碱液塔的第二缓冲层下方连接废气入口。

进一步地，所述抽风机出口还安装有吸附式的尾气处理装置。

进一步地，所述尾气处理装置后端还设有氯气侦测器。

进一步地，所述碱液塔和废气入口之间安装第三截止阀。

进一步地，所述废液池盛有NaOH溶液，废液池是封闭式的。

进一步地，所述第一喷头和第二喷头是雾化喷头。

进一步地，所述第一截止阀、第二截止阀和第三截止阀是气动或电动阀。

进一步地，所述第二截止阀打开后联动关闭第一截止阀和第三截止阀，第二截止阀关闭后联动打开第一截止阀和第三截止阀。

与现有技术相比，本发明的有益效果在于：该中和塔可以处理日常运行产生的尾气，也可用于紧急泄漏处理。

附图说明

图1为本发明的示意图；

附图标记说明：1-碱液塔；2-第二喷头；3-第一截止阀；4-第一缓冲层；5-水塔；6-第一喷头；7-尾气处理装置；8-抽风机；9-水入口；10-水泵；11-废气入口；12-第二截止阀；13-第三截止阀；14-第二缓冲层；15-碱液池；16-碱液泵；17-废液池。

具体实施方式

为了对本发明的技术特征、目的和效果有更加清楚的理解，现对照附图说明本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围不局限于以下所述。

具体实施例一：