[发明专利]环保镍电镀组合物和方法在审
| 申请号： | 201810552660.9 | 申请日： | 2018-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN109137006A | 公开（公告）日： | 2019-01-04 |
| 发明（设计）人： | M·利普舒兹 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料有限责任公司 |
| 主分类号： | C25D3/18 | 分类号： | C25D3/18 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陈哲锋;胡嘉倩 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 沉积物 电镀组合物 环保 抑制沉积 电镀镍 电镀 衬底 金层 腐蚀 | ||
1.一种镍电镀组合物，包含一种或多种镍离子源、一种或多种乙酸根离子源、糖精钠和一种或多种具有下式的N-苯甲基吡啶鎓磺酸盐化合物：
其中R1和R2独立地选自氢、羟基和(C1-C4)烷基。
2.根据权利要求1所述的镍电镀组合物，其中所述一种或多种N-苯甲基吡啶鎓磺酸盐化合物的量是至少0.5ppm。
3.根据权利要求1所述的镍电镀组合物，其中所述N-苯甲基吡啶鎓磺酸盐化合物是N-苯甲基吡啶鎓-3-磺酸盐。
4.根据权利要求1所述的镍电镀组合物，另外包含一种或多种氯化物源。
5.根据权利要求1所述的镍电镀组合物，另外包含一种或多种表面活性剂。
6.根据权利要求1所述的镍电镀组合物，其中所述镍电镀组合物的pH为2至6。
7.一种在衬底上电镀镍金属的方法，包含：
a)提供所述衬底；
b)使所述衬底与包含一种或多种镍离子源、一种或多种乙酸根离子源、糖精钠和一种或多种具有下式的N-苯甲基吡啶鎓磺酸盐化合物的镍电镀组合物接触：
其中R1和R2独立地选自氢、羟基和(C1-C4)烷基；以及
c)对所述镍电镀组合物和衬底施加电流以在所述衬底上电镀光亮并且均匀的镍沉积物。
8.根据权利要求7所述的方法，其中电流密度为至少0.1ASD。
9.根据权利要求7所述的方法，其中所述一种或多种N-苯甲基吡啶鎓磺酸盐化合物的量是至少0.5ppm。
10.根据权利要求7所述的方法，其中所述N-苯甲基吡啶鎓磺酸盐化合物是N-苯甲基吡啶鎓-3-磺酸盐。
11.根据权利要求7所述的方法，其中所述镍电镀组合物另外包含一种或多种氯化物源。
12.根据权利要求7所述的方法，其中所述镍电镀组合物另外包含一种或多种表面活性剂。
13.根据权利要求7所述的方法，其中所述镍电镀组合物的pH为2到6。
14.根据权利要求7所述的方法，另外包含在所述光亮并且均匀的镍沉积物上沉积金或金合金层。
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