[发明专利]阈值电压监测方法及监测设备

说明书

本发明公开一种阈值电压监测方法及监测设备。该阈值电压监测方法，包括：获取栅‑源电压数值和漏‑源电流数值；根据所述获取的栅‑源电压数值和漏‑源电流数值，确定阈值电压数值；输出所述阈值电压数值进行显示。本发明提供的方案，能更简单有效地实现对阈值电压Vth的监测，提高监测效率。

技术领域

本发明涉及平板显示技术领域，具体涉及一种阈值电压监测方法及监测设备。

背景技术

随着显示技术的发展，出现了各种各样的显示器产品，例如LCD(Liquid CrystalDisplay，液晶显示器)和OLED(Organic Light Emitting Diode，有机发光二极管)显示器等。近年来，液晶显示器LCD得到了蓬勃发展，TFT(Thin Film Transistor，薄膜晶体管)LCD产品的类型也与日俱增，LCD在车载、工业、消费品、医疗等显示领域相比其他的显示技术也有很大的优势。

目前，随着LCD研究的深入，关于TFT转移特性曲线(TR曲线)的研究也受到了越来越多的关注。随着LCD显示技术的广泛应用，其对于工作环境以及产品质量方面的要求也变得更严格，因此对于正向偏压应力(P/NBS)、温度偏压应力(TP/NBS)、光照偏压应力(IP/NBS)的关注也逐日见涨，如果对于TR曲线的监测只局限于开态电流(Ion)、关态电流(Ioff)，将无法满足与日俱增的市场质量管理需求。因为阈值电压(Vth)可以间接地反映出TFT沟道界面以及陷阱态密度的状态，也即Vth可以间接反映沟道特性，因此关于阈值电压Vth的监测对于TFT显得尤为重要。

目前监测非晶硅TFT Vth的方法主要包括两种，一种是人为手动对Vth进行计算，需要人员对数据进行手动处理，这会造成大量的人力资源浪费；另一种是监测到漏-源电压Vds＝1V、漏-源电流Ids＝1nA时所对应的栅-源电压Vgs即为Vth，但该种方法需要在现有的TR测试体系上，额外添加一组Vds的测试，这样也会造成时间成本浪费，降低生产效率。

因此，业界希望能提供一种更为简单有效的阈值电压监测方法。

发明内容

有鉴于此，本发明的目的在于提出一种阈值电压监测方法及监测设备，能更简单有效地实现对阈值电压Vth的监测，提高监测效率。

根据本发明的一个方面，提供一种阈值电压监测方法，包括：

获取栅-源电压数值和漏-源电流数值；

根据所述获取的栅-源电压数值和漏-源电流数值，确定阈值电压数值；

输出所述阈值电压数值进行显示。

优选的，所述获取栅-源电压数值和漏-源电流数值，包括：

获取第一栅-源电压数值和第二栅-源电压数值，获取第一漏-源电流数值和第二漏-源电流数值；

所述根据所述获取的栅-源电压数值和漏-源电流数值，确定阈值电压数值，包括：

根据所述第一栅-源电压数值、第二栅-源电压数值、第一漏-源电流数值和第二漏-源电流数值，确定阈值电压数值。

优选的，所述根据所述第一栅-源电压数值、第二栅-源电压数值、第一漏-源电流数值和第二漏-源电流数值，确定阈值电压数值，包括：

确定第二漏-源电流数值的根号值与第一栅-源电压数值的第一乘积，确定第一漏-源电流数值的根号值与第二栅-源电压数值的第二乘积；

将所述第一乘积与所述第二乘积相减得到第一差值，将所述第二漏-源电流数值与第一漏-源电流数值相减得到第二差值；

根据所述第一差值与所述第二差值相除，得到阈值电压数值。

优选的，所述获取栅-源电压数值和漏-源电流数值，包括：