[发明专利]一种改变气氛条件提高多晶铸锭品质的方法在审
| 申请号： | 201810553947.3 | 申请日： | 2018-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN108642564A | 公开（公告）日： | 2018-10-12 |
| 发明（设计）人： | 郭宽新;刘郭军;方圆 | 申请（专利权）人： | 河南盛达光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B28/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 455000 河南*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 氩气 多晶铸锭 挥发 炉腔 气氛条件 良品率 出炉 熔化 压强 降压过程 非恒定 硅熔液 硅片 切片 铸锭 抽出 | ||
1.一种改变气氛条件提高多晶铸锭品质的方法，其特征在于：所述方法是熔化和长晶过程中炉腔内的压力，随着时间不短变化；当炉腔内的压力降低时，硅熔液中的杂质，灰分更容易挥发出来，随着下一轮的降压过程，即大量气体抽出炉外的过程，气氛中的杂质和挥发由氩气迅速带出炉腔，实现杂质，灰分更容易挥发出来，并被氩气带出炉腔。
2.根据权利要求1所述的一种改变气氛条件提高多晶铸锭品质的方法，其特征在于：所述多晶铸锭过程中，炉腔内的压强和氩气的流程是随着时间变化的，而非恒定值。
3.根据权利要求1所述的一种改变气氛条件提高多晶铸锭品质的方法，其特征在于：所述铸锭过程中炉腔压强，炉内压强P1与P2是随着时间点不同随时间H1、H2、H3、H4变化的。
4.根据权利要求1所述的一种改变气氛条件提高多晶铸锭品质的方法，其特征在于：所述P1的压强范围在400mbar—800mbar，随着时间工段不同，压强做调整；P2的压强范围在100mbar—400mbar，随着时间工段不同，压强做调整。
5.根据权利要求1所述的一种改变气氛条件提高多晶铸锭品质的方法，其特征在于：所述工段时间H1、H2、H3、H4时间范围为0.3小时到2小时，根据实际需求H1、H2、H3、H4可以相等，也可以根据每一步做相应调整。
6.根据权利要求1所述的一种改变气氛条件提高多晶铸锭品质的方法，其特征在于：所述铸锭过程充入炉腔内氩气流程（如图1）随着时间变化而变化，氩气流量L1与L2是随着时间点不同随H5、H6、H7、H8的变化而变化的。
7.根据权利要求1所述的一种改变气氛条件提高多晶铸锭品质的方法，其特征在于：所述L1的氩气流程范围在40L/min—70L/min，L2的氩气流程在20L/min—40L/min，随着时间工段不同，每个步骤的时间内的氩气流程不同。
8.根据权利要求1所述的一种改变气氛条件提高多晶铸锭品质的方法，其特征在于：所述工段时间H5、H6、H7、H8时间范围为0.3小时到2小时，根据实际需求H5、H6、H7、H8可以相等，也可以根据每一步做相应调整。
9.根据权利要求1所述的一种改变气氛条件提高多晶铸锭品质的方法，其特征在于：所述时间点H1、H2、H3、H4与H5、H6、H7、H8没有联系，可以是在相同时间运行，也可以是交叉运行，炉腔内的压强变化和氩气的流程是独立控制的。
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