[发明专利]带粘贴装置和带粘贴方法有效
申请号: | 201810554267.3 | 申请日: | 2018-05-31 |
公开(公告)号: | CN109426016B | 公开(公告)日: | 2023-04-11 |
发明(设计)人: | 浜田隆二;足立聪 | 申请(专利权)人: | 松下知识产权经营株式会社 |
主分类号: | G02F1/13 | 分类号: | G02F1/13 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 王亚爱 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 粘贴 装置 方法 | ||
1.一种带粘贴装置,具备:
支撑台,在上表面以给定间隔形成多个吸引口,在内部形成在长度方向上延伸且一端从侧面向外部开口的连通空间,多个所述吸引口从所述上表面贯通到所述连通空间,由所述上表面支撑由膜状构件构成的基板的端部区域;
轴构件,从所述连通空间的开口插入;
吸引机构,与所述连通空间连通,并通过所述吸引口吸引所述基板的所述端部区域的下表面;以及
带粘贴单元,将部件接合用的带切片和贴附于所述带切片的隔膜一起向所述基板的所述端部区域按压并粘贴,且将所述隔膜从进行了粘贴的所述带切片提拉并剥离,
所述支撑台通过变更将所述轴构件插入到所述连通空间的插入量,从而能够变更吸附所述基板的所述端部区域的吸附区域的长度,
所述带粘贴装置还具备与所述插入量对应并显示所设定的所述吸附区域的长度的吸附区域长度显示单元。
2.根据权利要求1所述的带粘贴装置,其中,
所述轴构件具有与所述连通空间的内壁抵接以密封所述连通空间的密封单元。
3.一种带粘贴方法,将部件接合用的带切片粘贴到由膜状构件构成的基板的端部区域,该带粘贴方法包括:
吸附区域设定工序,在对载置于上表面的基板进行吸附的吸附区域的长度可变的支撑台中,按照载置于所述上表面的基板的端部区域的长度设定所述吸附区域的长度;
基板载置工序,将所述基板载置到所述支撑台,以使基板的端部区域放置于所设定的所述吸附区域;
基板吸附工序,吸附所载置的所述基板;
带粘贴工序,将部件接合用的带切片和贴附于所述带切片的隔膜一起向所述基板的所述端部区域按压并粘贴;以及
隔膜剥离工序,将所述隔膜从所述带切片提拉并剥离,
在所述支撑台中,在上表面以给定间隔形成多个吸引口,在内部形成在长度方向上延伸且一端从侧面向外部开口的连通空间,多个所述吸引口从所述上表面贯通到所述连通空间,通过变更将从所述开口插入的轴构件插入到所述连通空间的插入量,从而能够变更所述吸附区域的长度,
在所述吸附区域设定工序中,变更所述插入量来设定所述吸附区域的长度。
4.根据权利要求3所述的带粘贴方法,其中,
所述轴构件具有与所述连通空间的内壁抵接以密封所述连通空间的密封单元。
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