[发明专利]一种感光性聚合物及其制备方法和用途

权利要求书

1.一种感光性聚合物，其特征在于，所述感光性聚合物包含下述结构单元：

(a1)：具有通过酸水解而产生羧基或其他酸性基团的结构单元；

(a2)：具有鎓盐基团的结构单元；

(a3)：具有环状基团的结构单元；

其中，相对于构成所述感光性聚合物的所有结构单元，所述结构单元(a2)的摩尔比例为1％～80％，所述结构单元(a3)的摩尔比例为20％～99％。

2.如权利要求1所述的感光性聚合物，其特征在于，所述结构单元(a1)具有选自酯基、醚基和/或环氧基的可水解基团。

3.如权利要求1所述的感光性聚合物，其特征在于，所述结构单元(a2)为具有鎓盐基团的结构单元；其中，所述鎓盐基团选自下组：碘鎓盐、硫鎓盐、磷鎓盐、氮鎓盐或其组合。

4.如权利要求1所述的感光性聚合物，其特征在于，所述结构单元(a3)为具有环状基团的结构单元，其中，所述环状基团选自下组：金刚烷、苯乙烯、α-蒎烯或其组合。

5.如权利要求1-4任一项所述的感光性聚合物，其特征在于，所述的感光性聚合物满足下列的一个或多个性质：

1)多分散性PDI≤1.80；

2)分子量为2000～200000；

3)玻璃化温度Tg为60～240℃；

4)在180～240nm范围内对光的吸收较弱或无。

6.一种感光性树脂，其特征在于，其含有如下成分：(A)如权利要求1-5任一项所述的感光性聚合物；以及(B)溶剂。

7.如权利要求6所述的感光性树脂，其特征在于，所述成分A的浓度为1-10wt％。

8.一种如权利要求6所述感光性树脂的用途，其特征在于，用于制备硬化膜。

9.一种硬化膜的制备方法，其特征在于，所述方法包括步骤：

1)将如权利要求6所述的感光性树脂涂布于衬底上；

2)对涂布后的感光性树脂进行一次烘烤，除去溶剂；

3)对除去溶剂后的感光性树脂进行曝光；

4)对曝光后的感光性树脂进行二次烘烤；

5)对经二次烘烤后的感光性树脂用显影液进行显影，从而得到硬化膜。

10.一种光刻胶，其特征在于，所述光刻胶由权利要求1所述的感光性聚合物或权利要求6所述的感光性树脂制备；或者通过权利要求9所述的制备方法制得。