[发明专利]一种表面增强拉曼光谱基底、制造工艺及应用

权利要求书

1.一种表面增强拉曼光谱基底，其特征在于，包括： 目标基底层（10），该目标基底层（10）上具有一个第一表面（101）； 依序叠加的至少两层阳极多孔氧化铝模板层（20），该至少两层阳极多孔 氧化铝模板层（20）包括位于最底层的第一模板层（201）和位于最上层的第二模板层（202），其中所述第一模板层（201）形成于所述目标基底层（10）的第一表面上（101）；以及 活性金属颗粒（30），该活性金属颗粒（30）包括活性金属颗粒连续层结构（301）和活性金属颗粒分散层结构（302），所述活性金属颗粒连续层（301）分布在所述第二膜板层（202）表面，活性金属颗粒分散层结构（302）分布在目标基底层（10）的第一表面（101）/和阳极多孔氧化铝膜板层（20）的通孔处。

2.如权利要求 1 所述的一种表面增强拉曼光谱基底，其特征在于： 所述活性金属颗粒（30）的厚度介于 2~200nm 之间。

3.如权利要求 1 所述的一种表面增强拉曼光谱基底，其特征在于： 该活性金属颗粒（30）的活性金属材料为金、银、铝、铂和铜中的至少一种。

4.如权利要求 1 所述的一种表面增强拉曼光谱基底，其特征在于： 所述活性金属颗粒（30）采用沉积的方式形成于所述第二膜板层（202） 表面/和目标基底层（10）的第一表面（101）以及阳极多孔氧化铝膜板层（20） 的通孔处。

5.如权利要求 4 所述的一种表面增强拉曼光谱基底，其特征在于： 沉积的方法采用热蒸发法、电子束蒸镀法和磁控溅射法中的一种。

6.如权利要求 1 所述的一种表面增强拉曼光谱基底，其特征在于： 部分所述活性金属颗粒（30）穿过所述通孔沉积在所述第一表面（101） 和通孔内壁处。

7.如权利要求 1 所述的一种表面增强拉曼光谱基底，其特征在于： 阳极多孔氧化铝模板（20）的孔直径为 5~1000nm，阳极多孔氧化铝模板 （20）的孔中心间距为 10~1500nm，阳极多孔氧化铝模板（20）的厚度为 10~1000nm。

8.如权利要求 1 所述的一种表面增强拉曼光谱基底，其特征在于： 所述目标基底层（10）为硅、蓝宝石、碳化硅、石英玻璃和普通玻璃中的一种。

9.如权利要求 1 所述的一种表面增强拉曼光谱基底，其特征在于： 第二膜板层（202）的上表面形成活性纳米金属颗粒网结构，第二膜板层 （201）处形成棒状或星型活性纳米金属颗粒结构。

10.一种用于制造表面增强拉曼光谱基底的工艺，其特征在于，包括如下步骤：

1）提供目标基底层（10），该目标基底层（10）上具有一个第一表面（101）；

2）形成依序叠加的至少两层阳极多孔氧化铝模板层（20），该至少两层阳极多孔氧化铝模板层（20）包括位于最底层的第一模板层（201）和位于最上层的第二模板层（202），其中所述第一模板层（201）形成于所述目标基底层 （10）的第一表面上（101）；

3）形成活性金属颗粒（30），该活性金属颗粒（30）包括活性金属颗粒连续层结构（301）和活性金属颗粒分散层结构（302），所述活性金属颗粒连续层（301）分布在所述第二膜板层（202）表面，活性金属颗粒分散层结构（302） 分布在目标基底层（10）的第一表面（101）/和阳极多孔氧化铝膜板层（20） 的通孔处。

11.如权利要求 10 所述的一种用于制造表面增强拉曼光谱基底的工艺， 其特征在于： 所述活性金属颗粒（30）采用沉积的方式形成于所述第二膜板层（202） 表面/和目标基底层（10）的第一表面（101）以及阳极多孔氧化铝膜板层（20） 的通孔处。