[发明专利]一种用于太阳能电池前电极复合薄膜的制备方法在审
| 申请号： | 201810560590.1 | 申请日： | 2018-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN108642463A | 公开（公告）日： | 2018-10-12 |
| 发明（设计）人： | 彭寿;沈洪雪;姚婷婷;杨勇;李刚 | 申请（专利权）人： | 中建材蚌埠玻璃工业设计研究院有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/18;C23C14/08;C23C14/58;H01L31/0224;H01L31/18 |
| 代理公司： | 安徽省蚌埠博源专利商标事务所 34113 | 代理人： | 陈俊 |
| 地址： | 233010 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 复合薄膜 衬底 加热 溅镀 制备 磁控溅射设备 太阳能电池 前电极 样品台 退火 工作气体氩气 衬底表面 二次污染 溅射靶材 三层结构 退火处理 非球形 真空腔 油污 三层 去除 薄膜 清洗 室内 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于太阳能电池前电极复合薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1、清洗衬底，去除衬底表面油污和杂质；
S2、采用磁控溅射设备，以Al2O3靶、ZnO靶与Ag靶为溅射靶材，衬底置于磁控溅射设备的真空腔室内；
S3、通入工作气体氩气，开启Al2O3靶与ZnO靶，在衬底上溅镀第一AZO薄膜层；
S4、开启Ag靶，在第一AZO薄膜层上溅镀Ag层；
S5、开启Al2O3靶与ZnO靶，在Ag层上溅镀第二AZO薄膜层，得到三层结构的复合薄膜；
S6、加热放置衬底的样品台至400℃，对步骤S5得到的复合薄膜退火处理。
2.根据权利要求1所述的一种用于太阳能电池前电极复合薄膜的制备方法，其特征在于，步骤S3与步骤S5溅镀时，Al2O3靶的溅镀功率60W，ZnO靶的溅镀功率130W，工作气压1.0Pa，Ar总流量30sccm，溅射时间20min。
3.根据权利要求1所述的一种用于太阳能电池前电极复合薄膜的制备方法，其特征在于，所述S4溅镀时，Ag靶的溅镀功率30W，工作气压0.3Pa，Ar总流量10sccm，溅射时间10s。
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