[发明专利]适用于蓝宝石抛光的化学机械抛光液有效
| 申请号： | 201810561828.2 | 申请日： | 2018-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN108997940B | 公开（公告）日： | 2021-01-19 |
| 发明（设计）人： | 张泽芳;彭诗月 | 申请（专利权）人： | 上海映智研磨材料有限公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02;B24B29/00 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 张新鑫;许亦琳 |
| 地址： | 201799 上海市青浦区青*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 适用于 蓝宝石 抛光 化学 机械抛光 | ||
【权利要求书】：
1.一种适用于蓝宝石抛光的化学机械抛光液，其特征在于，所述化学机械抛光液至少包括以下重量份的组分：
其中，所述氧化铝抛光颗粒的粒径为0.2微米、0.4微米、0.6微米或1微米，所述速率促进剂选自硝酸盐、硫酸盐、或者硼酸盐中的至少一种，所述分散剂为聚丙烯酸或其盐中的一种或者几种。
2.根据权利要求1所述的化学机械抛光液，其特征在于：所述的聚丙烯酸盐选自聚丙烯酸钠或聚丙烯酸铵中的任意一种或者两种，分子量1000-20000。
3.根据权利要求1所述的化学机械抛光液，其特征在于：所述pH调节剂选自碳酸钾、碳酸钠、碳酸铵、硅酸钾、硅酸钠、氢氧化钾或氢氧化钠中的至少一种。
4.根据权利要求1所述的化学机械抛光液，其特征在于：所述化学机械抛光液的pH值范围为7～12。
5.根据权利要求1所述的化学机械抛光液，其特征在于：所述化学机械抛光液的pH值范围为9～11。
6.根据权利要求1所述的化学机械抛光液，其特征在于：所述螯合剂选自乙二胺四乙酸、羧酸、磺酸及其盐类中的任意一种或几种。
7.如权利要求1～6任一项权利要求所述的化学机械抛光液用于给蓝宝石抛光的用途。
8.如权利要求1～6任一项权利要求所述的化学机械抛光液用于制备抛光剂的用途。
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