[发明专利]贴合装置及使用该贴合装置的元件贴合方法

权利要求书

1.一种元件贴合方法，包括如下步骤：

提供一贴合装置，所述贴合装置包括：

上盖；

上压头，可活动地设置于所述上盖内；

下平台，用于与所述上盖配合形成一第一容置腔；

下压头，设置于所述下平台上并在所述下平台与所述上盖配合形成所述第一容置腔时位于所述第一容置腔内，所述下压头与所述下平台配合形成一第二容置腔，所述下压头包括一与所述上压头相对设置的下载台，所述下载台上开设有贯通所述下载台的真空孔；

内载台，可活动地设置于所述第二容置腔内，所述内载台上设置有密封柱，所述密封柱用于在所述第一容置腔与所述第二容置腔的真空状态相同时封堵所述真空孔；

提供一第一待贴合元件和一第二待贴合元件，将所述第一待贴合元件和所述第二待贴合元件分别固定于所述上压头及所述下载台上，使所述第一待贴合元件和所述第二待贴合元件相对放置，其中所述第二待贴合元件通过真空吸附方式固定于所述下载台上，所述第二容置腔保持一第一真空状态；

使所述上盖及所述下平台扣合形成所述第一容置腔，并使所述第一待贴合元件及所述第二待贴合元件正对且间隔设置；

对所述第一容置腔抽真空，使所述第一容置腔与所述第二容置腔内部压强趋于相同，在所述第一容置腔与所述第二容置腔压强相同之前，使所述密封柱封堵每个所述真空孔，持续对所述第一容置腔及所述第二容置腔抽真空使二者共同达到一第二真空状态的过程与所述密封柱封堵所述真空孔的过程同步完成；

移动所述上压头和/或所述下载台使所述第一待贴合元件与所述第二待贴合元件贴合在一起。

2.如权利要求1所述的元件贴合方法，其特征在于：所述内载台还包括一板部及与所述板部连接的一伸缩轴，所述密封柱形成于所述板部上并由所述板部朝向所述下载台凸伸，所述伸缩轴用于带动所述板部及所述密封柱在所述第二容置腔内移动。

3.如权利要求1所述的元件贴合方法，其特征在于：所述真空孔与所述密封柱的形状、尺寸相同。

4.如权利要求1所述的元件贴合方法，其特征在于：所述密封柱的尺寸大于所述真空孔的尺寸，所述密封柱为柔性材料。

5.如权利要求1所述的元件贴合方法，其特征在于：所述真空孔与所述第二容置腔相通以构成真空通道。

6.如权利要求1所述的元件贴合方法，其特征在于：所述上压头用于固定一第一待贴合元件，所述下载台用于承载一第二待贴合元件。

7.如权利要求6所述的元件贴合方法，其特征在于：所述上盖内包括一容置部，所述上压头包括一伸缩部和与所述伸缩部连接的一上载台，所述上载台用于固定所述第一待贴合元件，所述伸缩部用于带动所述上载台在所述容置部内移动。

8.如权利要求1至7任意一项所述的元件贴合方法，其特征在于：所述第二真空状态对应的压强小于所述第一真空状态对应的压强。

9.如权利要求1至7任意一项所述的元件贴合方法，还以下步骤：同时解除所述第一容置腔及所述第二容置腔的真空状态，使所述上盖与所述下平台分离。