[发明专利]一种电子/离子致解吸产额一体化测试装置及方法在审
| 申请号： | 201810564960.9 | 申请日： | 2018-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN108760566A | 公开（公告）日： | 2018-11-06 |
| 发明（设计）人： | 王洁;王盛;高勇;王锦东 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学;西安核理科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N7/14 | 分类号： | G01N7/14 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 徐文权 |
| 地址： | 710049 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 涡轮分子泵 真空测试腔 解吸 标准真空 离子 一体化测试装置 标准气体 输入管道 样品支架 电子源 高纯度 离子泵 离子源 粗抽 温度传感器 测试 压强测试 制冷系统 加热盘 膜片式 真空计 温区 正对 体内 出口 | ||
1.一种电子/离子致解吸产额一体化测试装置，其特征在于，包括标准真空室(21)、真空测试腔体(4)、电子源/离子源(2)、离子泵(10)、粗抽泵(14)、第二涡轮分子泵(6)、第一涡轮分子泵(3)、高纯度标准气体源(7)、用于检测真空测试腔体(4)内压强的压强测试系统、用于检测标准真空室(21)内真空度的膜片式真空计(19)、用于检测样品(17)温度的低温温度传感器(20)及高温常温温度传感器(23)、用于对样品(17)进行加热的加热盘(22)及加热控制系统(24)以及用于对样品(17)进行冷却的制冷系统(25)；
高纯度标准气体源(7)及第二涡轮分子泵(6)与标准真空室(21)的入口相连通，标准真空室(21)的出口与真空测试腔体(4)相连通，真空测试腔体(4)内设置有用于放置样品(17)的样品支架(18)，电子源/离子源(2)正对放置于样品支架(18)上的样品(17)，离子泵(10)、粗抽泵(14)及第一涡轮分子泵(3)均与真空测试腔体(4)相连通。
2.根据权利要求1所述的电子/离子致解吸产额一体化测试装置，其特征在于，还包括用于为电子源/离子源(2)提供电能的控制电源(1)。
3.根据权利要求1所述的电子/离子致解吸产额一体化测试装置，其特征在于，所述压强测试系统包括倒置式磁控规管(5)及分离型电离真空计(9)，通过倒置式磁控规管(5)及分离型电离真空计(9)检测真空测试腔体(4)内的压强。
4.根据权利要求1所述的电子/离子致解吸产额一体化测试装置，其特征在于，还包括用于测量真空测试腔体(4)内残余气体成分的残余气体成分分析仪(8)及残余气体成分分析仪控制电源(12)。
5.根据权利要求3所述的电子/离子致解吸产额一体化测试装置，其特征在于，倒置式磁控规管(5)上设置有倒置式磁控规管控制电源(11)，分离型电离真空计(9)连接有分离型电离真空计控制电源(13)。
6.根据权利要求1所述的电子/离子致解吸产额一体化测试装置，其特征在于，第二涡轮分子泵(6)通过气体连接管路(15)与标准真空室(21)相连通，其中，气体连接管路(15)上设置有真空截止阀门(16)。
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