[发明专利]一种小型面积可调等离子体源

权利要求书

1.一种小型面积可调等离子体源，其特征在于：包括放电腔体(1)，所述放电腔体上端面通过阴极密封盖(2)密封，放电腔体的腔体壁(1-1)上开有抽气孔(1-4)，抽气孔中安装抽气组件(8)，放电腔体底部连接副励磁线圈组支撑座(12)，放电腔体的内底面上固定阳极板(15)，所述阴极密封盖顶面设置凹槽并在凹槽中设置盘形加热丝(4)，阴极密封盖底面固定阴极板(2-3)，所述放电腔体上部外侧面固定主励磁线圈(5)，副励磁线圈组支撑座上固定若干个尺寸不同的副励磁线圈。

2.根据权利要求1所述的一种小型面积可调等离子体源，其特征在于：所述放电腔体的腔体壁上还设有压力表安装孔(1-2)。

3.根据权利要求1或2所述的一种小型面积可调等离子体源，其特征在于：所述阴极密封盖底面与放电腔体的接触面上设有用于放置密封圈的密封圈槽(2-2)，阴极密封盖通过固定螺母(2-4)固定阴极板(2-3)并通过固定螺母(2-4)引出阴极引线(2-5)。

4.根据权利要求3所述的一种小型面积可调等离子体源，其特征在于：所述阴极板为电子发射率较高的六硼化镧材料。

5.根据权利要求4所述的一种小型面积可调等离子体源，其特征在于：所述抽气组件(8)包括主进气螺杆(8-1)、主回位弹簧(8-2)和主固定螺母(8-3)，所述主进气螺杆由盘体和杆体组成，杆体位于盘体一侧的中心，盘体上设有主进气孔(8-1-1)，主进气螺杆通过杆体与主固定螺母连接，将抽气组件固定于抽气孔中，主回位弹簧位于主固定螺母和盘体之间。

6.根据权利要求4所述的一种小型面积可调等离子体源，其特征在于：所述放电腔体腔体壁上对应抽气孔外围的位置设有活塞腔，活塞腔中设有手动活塞(7)，所述手动活塞(7)由活塞杆(7-1)和活塞组成，活塞上设置活塞进气孔(7-2)，活塞进气孔中安装活塞进气组件(6)。

7.根据权利要求6所述的一种小型面积可调等离子体源，其特征在于：活塞进气组件主要由副进气螺杆(6-1)、副回位弹簧(6-2)和副固定螺母(6-3)组成，所述副进气螺杆由盘体和杆体组成，杆体位于盘体一侧的中心，盘体上设有副进气孔(6-1-1)，副进气螺杆通过杆体与副固定螺母连接，将活塞进气组件固定于活塞进气孔中，副回位弹簧位于副固定螺母和盘体之间。

8.根据权利要求4所述的一种小型面积可调等离子体源，其特征在于：所述放电腔体底部设置螺纹盲孔(1-5)，副励磁线圈组支撑座通过其顶部的螺柱(12-2)与螺纹盲孔连接固定于放电腔体下方，所述副励磁线圈组支撑座为多级台阶状支撑座，每级台阶状支撑座上设置一个副励磁线圈。