[发明专利]一种电镀液分散能力评价装置及其评价方法

权利要求书

1.一种电镀液分散能力评价装置，其特征在于：包括电源、电镀槽、电镀阳极、电镀阴极组件，其中，所述电镀阴极组件与所述电镀阳极平行设置；所述电镀阴极组件靠近电镀阳极侧的表面设置有第一电镀阴极，所述第一电镀阴极通过电气互连线路连接在一起形成一个阵列；所述电镀阴极组件的表面还设置呈阵列式分布的通孔或盲孔；所述通孔的孔壁上设置有一个或者多个第二电镀阴极，所述盲孔的孔底或者侧壁设置有一个或者多个第二电镀阴极；设置在通孔或者盲孔上相同几何位置的第二电镀阴极通过电气互连线路连接在一起形成一个阵列；第二电镀阴极阵列与电镀阳极之间的距离大于第一电镀阴极阵列与电镀阳极之间的距离；

所述第一电镀阴极阵列和第二电镀阴极阵列分别与电流测量电路连接；

采用数字源表测量电流；

设置在通孔或者盲孔侧壁上的第二电镀阴极是与所述通孔或者盲孔同心的圆形带状电镀阴极。

2.根据权利要求1所述的电镀液分散能力评价装置，其特征在于，所述通孔或盲孔的方向与电镀阴极组件的表面垂直。

3.根据权利要求1所述的电镀液分散能力评价装置，其特征在于，所述电气互连线路不与电解液接触。

4.根据权利要求1所述的电镀液分散能力评价装置，其特征在于，所述数字源表电压降＜200μV。

5.根据权利要求4所述的电镀液分散能力评价装置，其特征在于：所述数字源表与计算机连接，所述数字源表以1～1000点/秒的采样频率对第一电镀阴极阵列和第二电镀阴极阵列的电流强度进行采样。

6.根据权利要求1所述的电镀液分散能力评价装置，其特征在于，所述电镀阳极的下方设置有恒温加热装置，电镀槽的底部设置有镀液循环装置。

7.一种基于权利要求1至6任一项所述装置的电镀液分散能力的评价方法，其特征在于，分别测量第一电镀阴极阵列的电流和每个第二电镀阴极阵列的电流，以第二电镀阴极阵列上电流与第一电镀阴极阵列上电流的比值大小及变化来评价电镀液的分散能力。

8.根据权利要求7所述的电镀液分散能力的评价方法，其特征在于：若第二电镀阴极上电流与第一电镀阴极上电流的比值越大，电镀液的分散能力越好；若第二电镀阴极上电流与第一电镀阴极上电流的比值越小，电镀液的分散能力越差。