[发明专利]一种适用于电子致解吸产额测试装置的可替代电子源

权利要求书

1.一种适用于电子致解吸产额测试装置的可替代电子源，其特征在于，包括陶瓷连接管(4)、真空室(7)、阴极丝(3)、陶瓷绝缘柱(2)、电极(1)及耐高压绝缘电极；

陶瓷连接管(4)的一端与真空室(7)的侧面相连通，陶瓷连接管(4)的另一端设置有密封法兰(6)，密封法兰(6)的侧面设置有用于放置样品(5)的样品架，且样品架与密封法兰(6)之间设置有耐高压绝缘电极，通过耐高压绝缘电极对样品架施加偏压；

阴极丝(3)及陶瓷绝缘柱(2)位于真空室(7)内，阴极丝(3)的上端插入于陶瓷绝缘柱(2)内，阴极丝(3)经过陶瓷绝缘柱(2)与电极(1)的下端相连接，阴极丝(3)正对所述样品(5)；

真空室(7)的内壁上施加有-30～-40V的偏压，样品架上施加有50～5000V的偏压。

2.根据权利要求1所述的适用于电子致解吸产额测试装置的可替代电子源，其特征在于，样品(5)为圆形片状结构，且样品(5)的直径为10～36mm；或者样品(5)为方形片状结构，且样品(5)的边长小于等于25mm。

3.根据权利要求1所述的适用于电子致解吸产额测试装置的可替代电子源，其特征在于，真空室(7)内的压强小于等于10^-8mbar。

4.根据权利要求1所述的适用于电子致解吸产额测试装置的可替代电子源，其特征在于，阴极丝(3)为双阴极丝，且阴极丝(3)的材质为钇或者钨。

5.根据权利要求1所述的适用于电子致解吸产额测试装置的可替代电子源，其特征在于，阴极丝(3)上施加有2.5～3.5A的电流，阴极丝(3)上施加有3～5V的电压，阴极丝(3)上的电势为+30V。

6.根据权利要求1所述的适用于电子致解吸产额测试装置的可替代电子源，其特征在于，密封法兰(6)上施加有0～20V的偏压。

7.根据权利要求1所述的适用于电子致解吸产额测试装置的可替代电子源，其特征在于，阴极丝(3)产生的电子束入射到样品(5)表面的电流为0.018～1.020A，所述电子束在样品(5)表面形成的束斑直径为6～22mm。