[发明专利]一种半导体芯片生产用接触式光刻机

权利要求书

1.一种半导体芯片生产用接触式光刻机，包括底板(1)、限制板(4)和卡板(10)，其特征在于：所述底板(1)上方中间固定安装有第一固定轴(2)，且第一固定轴(2)上方设置有第一活动轴(3)，并且第一活动轴(3)的上方设置有层板(17)，所述层板(17)下方一侧设置有第一活动杆(6)，且第一活动杆(6)下方设置有第一导杆(5)，并且层板(17)上方活动安装有本体(9)，所述限制板(4)设置于底板(1)上端一侧，所述底板(1)上方边侧设置有限制块(7)，且限制块(7)内部贯穿有固定螺钉(8)，所述卡板(10)设置于本体(9)一侧，所述限制板(4)一侧预留有卡槽(11)，且限制板(4)下方设置有燕尾块(12)，所述底板(1)上端预留有燕尾槽(13)，所述层板(17)上方中间设置有第二活动杆(14)，且第二活动杆(14)上方设置有第二导杆(15)，并且第二活动杆(14)外端包裹有弹簧(16)，所述第一活动轴(3)的内部设置有气缸(18)，所述第一固定轴(2)和第一活动轴(3)构成伸缩结构，且第一固定轴(2)垂直于底板(1)设置，所述限制板(4)关于底板(1)上下方向中心轴线对称设置，且限制板(4)设置有4个，所述第一活动杆(6)为中空形状，且第一活动杆(6)的内径长度和第一导杆(5)的外径长度相等，所述卡板(10)的外轮廓和卡槽(11)的内轮廓相互贴合，且卡板(10)和卡槽(11)均设置有4个，所述燕尾块(12)和燕尾槽(13)构成滑动结构，且燕尾块(12)的最大活动范围长度和燕尾槽(13)的长度相等，半导体芯片生产用接触式光刻机工作时，在硅片表面匀胶，然后将掩模版上的图形转移光刻胶上的过程将器件或电路结构临时“复制”到硅片上，第一活动轴（3）通过气缸（18）在第一固定轴（2）内伸缩，来带动层板（17）上下移动，进而带动本体（9）上下移动，达到调节本体（9）高度的目的，第一活动轴（3）在第一固定轴（ 2） 内伸缩的同时，2个第一导杆（5）在2个中空的第一活动杆（6）内滑动，达到层板（17）时刻保持水平放置的目的，弹簧（16）使本体（9）具有减震的功能，2个第二活动杆（14）和2个第二导杆（15）之间的滑动来达到本体（9）时刻保持水平放置的目的，燕尾块（12）和燕尾槽（13）之间的滑动来使限制板（4）在底板（1）上方灵活的活动，来对本体（9）进行限制，通过固定螺钉（8）将限制块（7）和底板（1）固定在一起，达到将本体（9）固定住的目的，卡板（10）和卡槽（11）之间的滑动，使本体（9）在上下移动的时候，不会发生前后左右的晃动，只会垂直向上或者向下运动。