[发明专利]一种ITO圆筒靶材外侧面研磨的定位支撑工装及其使用方法

权利要求书

1.一种ITO圆筒靶材外侧面研磨的定位支撑工装的使用方法，其特征在于；

所述定位支撑工装包括多个单体支撑工装，所述单体支撑工装间通过转动轴依次连接；所述转动轴上设有外螺纹；每个所述单体支撑工装套接在转动轴上的支撑套筒，所述支撑套筒上设有放置槽，所述放置槽内设有使用时外侧面与圆筒靶材内壁相贴合的支撑垫块；所述支撑套筒上设有用于减少支撑垫块对圆筒靶材内壁磨损的硅胶圈；所述放置槽竖直截面呈锥台型，所述支撑垫块竖直截面也呈锥台型；各个支撑垫块被顶升后处于支撑套筒外侧的一端处于同一个圆周面上；

所述转动轴本体包括多个单体转动轴本体，所述单体转动轴本体间依次连接组成转动轴本体；每个所述单体转动轴本体上至少设有一个单体支撑工装；

所述单体支撑工装间通过连接组件相连接，所述连接组件包括分别设置在单体转动轴本体端部的连接盘，相邻单体转动轴本体通过相邻连接盘的连接相连接；

所述使用方法包括如下步骤：

（1）确定需要研磨外壁的圆筒靶材内径，选取合适的定位支撑工装，并针对相应圆筒靶材的长度，选定相对应的定位支撑工装长度；

（2）步骤（1）完成后，进行单体支撑工装的组装，先在支撑套筒的放置槽内放置相应数量的支撑垫块，并在支撑套筒外侧套接多个硅胶圈用于辅助固定支撑垫块；

（3）步骤（2）完成后，先将一个单体限位卡环套接在转动轴上；

随后再把步骤（2）中初步装配完成的支撑套筒套接在转动轴上；

（4）步骤（3）完成后，在支撑套筒开口朝向的一侧加装一个挤压套筒，挤压套筒套接在转动轴上；

（5）步骤（4）完成后，再在转动轴上增加一个用于固定挤压套筒的单体限位卡环，该单体限位卡环与步骤（3）中的单体限位卡环关于挤压套筒和支撑套筒对称分布；

（6）步骤（5）完成后，一个单体支撑工装组装完成，如果需要组装多个单体支撑工装，重复步骤（2）-（5）即可，多次在转动轴上增加单体支撑工装，直至装配处符合产品要求的定位支撑工装；

（7）步骤（6）完成后，把步骤（7）中组合完成的定位支撑工装竖立放进ITO圆筒靶材里，慢慢把工装移进到靶材中间；

（8）步骤（7）完成后，将支撑工装两端最外侧的单体限位卡环旋动，使其对相邻的挤压套筒产生挤压，进而推动挤压套筒对支撑垫块的顶起，挤压套筒顶起支撑垫块，使得支撑垫块外侧面与圆筒靶材内侧壁相贴合，进而实现对圆筒靶材的固定；

（9）步骤（8）完成后，把固定有圆筒靶材的定位支撑工装安装在研磨设备上，启动研磨设备，使得研磨设备对圆筒靶材外侧面进行研磨。

2.根据权利要求1所述的一种ITO圆筒靶材外侧面研磨的定位支撑工装的使用方法，其特征在于，所述单体支撑工装还包括套接在转动轴上用于顶升支撑垫块的挤压套筒，在支撑套筒上设有挤压开口，挤压开口朝向挤压套筒一侧。

3.根据权利要求2所述的一种ITO圆筒靶材外侧面研磨的定位支撑工装的使用方法，其特征在于，所述挤压套筒截面呈锥台型，所述支撑垫块处于支撑套筒内部的一端与挤压套筒外侧壁相贴合。

4.根据权利要求1所述的一种ITO圆筒靶材外侧面研磨的定位支撑工装的使用方法，其特征在于，所述单体支撑工装还包括调节在转动轴上用于挤压套筒定位的限位卡环组。

5.根据权利要求4所述的一种ITO圆筒靶材外侧面研磨的定位支撑工装的使用方法，其特征在于，所述限位卡环组包括两个单体限位卡环，两个所述限位卡环套接在转动轴上，并且在两个所述限位卡环之间至少一个设有支撑套筒和挤压套筒。

6.根据权利要求2所述的一种ITO圆筒靶材外侧面研磨的定位支撑工装的使用方法，其特征在于，所述挤压开口竖直截面呈锥台型，所述挤压套筒竖直截面也呈锥台型。