[发明专利]连接元件与光刻系统的运动机构

说明书

本发明提供了一种连接元件与光刻系统的运动机构，所述连接元件连接于承载台与电机动子之间，所述连接元件包括：柔性元件本体和贯穿所述柔性元件本体的顶端与底端的至少一个线型槽。本发明可避免或降低电机动子产生的形变对承载台运动的影响，降低热量向例如承载台的其他结构传递，以及提高运动机构可靠性。

技术领域

本发明涉及光刻领域，尤其涉及一种连接元件与光刻系统的运动机构。

背景技术

由于高速精密运动台中对各种误差源的控制要求极高。尤其在最终输出端(微动端)对各种误差的隔绝和补偿就更为重要。运动台微动端中电机数量较多，加速度要求大，响应速度要求极快。因而电机发热对微动端结构的影响难以得到相应的控制隔绝。此外，承载台与矢量电机动子间的安装难度通常较大。

发明内容

本发明提供一种连接元件与光刻系统的运动机构，以解决电机发热对微动端结构的影响难以得到相应的控制隔绝的问题。

根据本发明的第一方面，提供了一种连接元件，其特征在于，连接于承载台与电机动子之间，所述连接元件包括：柔性元件本体和至少一个线型槽，所述线型槽贯穿所述柔性元件本体。

可选的，所述线型槽贯穿所述柔性元件本体的方向为第一方向，所述至少一个线型槽包括沿垂直于所述第一方向的第二方向分布的第一线型槽与第二线型槽，所述第一线型槽与所述第二线型槽关于第一对称面对称分布，所述第一对称面垂直于所述第二方向。

可选的，所述第一线型槽包括第一直线部，所述第二线型槽包括第二直线部，所述第一直线部与所述第二直线部的直线长度方向垂直于所述第二方向。

可选的，所述第一线型槽还包括设置于所述第一直线部第一端的第一端部，所述第二线型槽还包括设置于所述第二直线部第一端的第二端部；

所述第一直线部的第一端为所述第一直线部的靠近所述柔性元件本体的外围的一端，所述第二直线部的第一端为所述第二直线部的靠近所述柔性元件本体的外围的一端。

可选的，所述第一线型槽包括第一梭型部与设置于所述第一梭型部第一端的第一回转延伸部，所述第二线型槽包括第二梭型部与设置于所述第二梭型部第一端的第二回转延伸部；所述第一梭型部与所述第二梭型部的长度方向垂直于所述第二方向；

所述第一线型槽与所述第二线型槽的第一间距大于所述第一线型槽与所述第二线型槽的第二间距与第三间距；所述第一间距为所述第一梭型部的中间位置与所述第二梭型部的中间位置之间的间距，所述第二间距为所述第一梭型部的第一端位置与所述第二梭型部的第一端位置之间的间距，所述第三间距为所述第一梭型部的第二端位置与所述第二梭型部的第二端位置之间的间距，所述第一梭形部的第二端为所述第一梭形部的未与所述第一回转延伸部连接的一端，所述第二梭形部的第二端为所述第一梭形部的未与所述第二回转延伸部连接的一端。

可选的，所述第一线型槽与所述第二线型槽的数量均为两个，其中两个所述第一线型槽关于第二对称面对称，两个所述第二线型槽关于所述第二对称面对称，所述第二对称面垂直于第三方向，所述第三方向分别垂直于所述第一方向与所述第二方向。

所述柔性元件本体内设有中间延伸部，所述中间延伸部连接所述柔性元件本体的中间部，所述中间部为所述柔性元件本体的所述第一线型槽与所述第二线型槽之间的实体部分；所述中间延伸部的两侧分别与所述柔性元件本体的外部连通；

所述中间延伸部设有供第一连接件穿过的第一连接孔，所述第一连接件穿过所述第一连接孔与所述电机动子连接。

可选的，所述中间延伸部的与所述电机动子相对的一侧设有用于确定所述电机动子与所述柔性元件本体的相对位置的定位结构。

可选的，所述中间延伸部设有供第一连接件穿过的第一连接孔，所述中间部设有供所述第一连接件穿过的第二连接孔，所述第一连接件穿过所述第二窗口、所述第二连接孔，以及所述第一连接孔与所述电机动子连接。