[发明专利]一种基于TO型端封类管壳陶瓷墙结构的设计及制作方法

权利要求书

1.一种基于TO型端封类管壳陶瓷墙结构，其特征在于包括高温氧化铝共烧陶瓷片、陶瓷端封孔、金属化连筋图形、焊料残余应力释放槽和金属化侧壁印刷；其中，高温氧化铝共烧陶瓷片上表面端封区域设有陶瓷端封孔和金属化连筋图形，陶瓷端封孔之间设有焊料残余应力释放槽，金属化侧壁印刷位于高温氧化铝共烧陶瓷片侧端。

2.根据权利要求1所述的一种基于TO型端封类管壳陶瓷墙结构，其特征在于所述高温氧化铝共烧陶瓷片为92～98wt%的氧化铝生瓷；所述金属化连筋图形为宽度0.8～1.5mm的封闭实体，端封孔直径为1.35～1.56mm，节距为3.7～3.9mm；所述TO型端封类管壳陶瓷墙结构长12.7～13.2mm，宽2.6～3.1mm。

3.一种基于TO型端封类管壳陶瓷墙结构的制作方法，其特征在于包括以下制作步骤：

（1）金属化图形连筋制作；

（2）陶瓷端封孔无变形制作；

（3）陶瓷端封孔壁无浆料堆积制作；

（4）多层陶瓷片层间结合制作；

（5）焊料残余应力释放槽制作。

4.根据权利要求3所述的一种基于TO型端封类管壳陶瓷墙结构的制作方法，其特征在于，所述步骤（1）金属化图形连筋制作：金属化连筋区域图形连筋采用丝网印刷工艺，感光膜厚度为10～30μm，开口率20～70%，连筋区域金属化浆料厚度为10～50μm。

5.根据权利要求3所述的一种基于TO型端封类管壳陶瓷墙结构的制作方法，其特征在于，所述步骤（2）陶瓷端封孔无变形制作：采用激光加工工艺，激光器为光纤激光器或紫外激光器，输出功率为1～100W，光斑直径为0.02～0.2mm；设置激光加工参数脉冲宽为100～400ms，重复频率为10～300kHz，切割次数为1～100，加工速度为10～1000mm/s。

6.根据权利要求3所述的一种基于TO型端封类管壳陶瓷墙结构的制作方法，其特征在于，所述步骤（3）陶瓷端封孔壁无浆料堆积制作：采用侧壁金属化印刷工艺，浆料粘度在30～300KCP，选用孔径为1.4～1.6mm钢网；印刷速度为1～10inches/sec，刮刀高度为50～150μm，离网间距为50～90μm。

7.根据权利要求3所述的一种基于TO型端封类管壳陶瓷墙结构的制作方法，其特征在于，所述步骤（4）多层陶瓷片层间结合制作：

采用等静压工艺，在50～80℃，50～300Kps条件下保温5～30min。

8.根据权利要求3所述的一种基于TO型端封类管壳陶瓷墙结构的制作方法，其特征在于，所述步骤（5）焊料残余应力释放槽制作；

采用热切工艺，在台温为30～60℃，刀温为50～70℃条件下，设置刀速为1～5mm/s，深度为20～400μm。