[发明专利]金刚石膜-铜复合散热片的制备方法

权利要求书

1.一种金刚石膜-铜复合散热片的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：1）采用化学气相沉积法在抛光后的硅基片上制备一层金刚石膜；2）将沉积了金刚石膜的硅基片整体与铜片进行钎焊处理；3）使用耐腐蚀胶将铜片封装并晾干；4）使用酸溶液将硅基片腐蚀掉，然后去除耐腐蚀胶层，即获得金刚石膜-铜复合散热片。

2.根据权利要求1所述的金刚石膜-铜复合散热片的制备方法，其特征在于：所述的金刚石膜的厚度为50-300μm。

3.根据权利要求1或2所述的金刚石膜-铜复合散热片的制备方法，其特征在于：步骤2）中，沉积了金刚石膜的硅基片整体与铜片进行钎焊时，采用含Cu的活性焊剂直接进行活性钎焊或者是先将沉积了金刚石膜的硅基片先进行金属化处理，再采用普通焊剂或活性焊剂进行钎焊。

4.根据权利要求3所述的金刚石膜-铜复合散热片的制备方法，其特征在于：所述的含Cu的活性焊剂为Ag-Cu-Ti或Cu-Sn-Ti，所述的普通焊剂为Ag-Cu。

5.根据权利要求1或2或4所述的金刚石膜-铜复合散热片的制备方法，其特征在于：步骤1）中，所述的化学气相沉积法为热丝化学气相沉积法、直流电弧等离子体化学气相沉积法或热阴极等离子体化学气相沉积法。