[发明专利]一种金刚石位置灵敏探测器的制备方法

权利要求书

1.一种金刚石位置灵敏探测器的制备方法，其特征在于该方法是按下列步骤实现：

一、将单晶CVD金刚石置于沸腾的混酸浴内处理30～60min，然后依次在去离子水、无水乙醇和丙酮里分别超声清洗5～30min，得到清洗后的金刚石；

二、将具有四个圆心角为90°扇形结构的不锈钢掩膜板固定在清洗后的金刚石的表面，四个圆心角为90°扇形结构形成圆形，清洗后的金刚石的背面粘贴在玻璃片上，得到带有玻璃片的金刚石；

三、将Au靶安装至磁控溅射靶上，将步骤二得到的带有玻璃片的金刚石置于真空磁控溅射镀膜系统内的加热台上，启动真空系统将真空仓内抽成真空，使得真空度为1.0×10^-4～8.0×10^-4Pa，采用磁控溅射法，在Ar气氛的保护下，控制Ar气流量为10～30sccm，控制溅射功率为30～50W进行沉积金电极，沉积生长有四个圆心角为90°扇形结构的金电极，得到溅射有电极的金刚石；

四、将不锈钢掩膜板从溅射有电极的金刚石上分离下来，得到镀有金电极的金刚石；

五、将镀有金电极的金刚石固定在焊盘上，四个金电极分别用导线与焊盘上的四个条形电极连接，得到具有四电极的二维平面结构的金刚石位置灵敏探测器。

2.根据权利要求1所述的一种金刚石位置灵敏探测器的制备方法，其特征在于步骤一所述的单晶CVD金刚石的尺寸大小为3.0×3.0mm²，厚度为0.5mm。

3.根据权利要求1所述的一种金刚石位置灵敏探测器的制备方法，其特征在于步骤一中的混酸是体积比为1:1:1的质量分数为68％的硝酸、质量分数为70％的高氯酸和质量分数为98％硫酸的混合酸。

4.根据权利要求1所述的一种金刚石位置灵敏探测器的制备方法，其特征在于步骤一中以300～600W的功率超声清洗15～30min。

5.根据权利要求1所述的一种金刚石位置灵敏探测器的制备方法，其特征在于步骤三中启动真空系统将真空仓内抽成真空，使真空仓内真空度为4.5×10^-4Pa。

6.根据权利要求1所述的一种金刚石位置灵敏探测器的制备方法，其特征在于步骤三采用磁控溅射法，在Ar气氛的保护下，控制Ar气流量为20sccm，控制溅射功率为40W进行沉积1～2min。

7.根据权利要求1所述的一种金刚石位置灵敏探测器的制备方法，其特征在于步骤三中金电极的厚度为20～50nm。

8.根据权利要求1所述的一种金刚石位置灵敏探测器的制备方法，其特征在于步骤三中相邻金电极的间距为0～1mm。

9.根据权利要求1所述的一种金刚石位置灵敏探测器的制备方法，其特征在于步骤五将镀有金电极的金刚石用银胶固定在焊盘上。

10.根据权利要求1所述的一种金刚石位置灵敏探测器的制备方法，其特征在于步骤五中所述的导线为银线。