[发明专利]一种主动式气浮轴承

权利要求书

1.一种主动式气浮轴承，包括气浮轴承本体（9a、9b、9c）、气浮轴承本体分为上本体（9a）、复合节流结构单元（9b）和下本体（9c）三部分，复合节流主动调节单元（3、4），驱动控制单元（8a），其特征在于：气浮轴承的上本体（9a）中央区域设有上腔室（2），通过节流小孔（5）与均压腔（11）相连，气浮轴承下本体（9c）中央区域设有下腔室（7），下腔室通过节流狭缝（10）与均压腔（11）相连。

2.根据权利要求1所述的主动式气体轴承，其特征在于：所述的气体轴承上本体（9a）、复合节流结构单元（9b）、气体轴承下本体（9c）、上腔室（2）、下腔室（7）和节流狭缝（10）同轴安装或加工。

3.根据权利要求1所述的主动式气体轴承，其特征在于：高压气体通过通道（6a）和通道（6b）分别进入上腔室（2）和下腔室（7），分别流经节流小孔（5）和节流狭缝（10），然后扩散到两支承面（9c、13a）之间的间隙（12）和均压腔（11），形成一层具有一定压力的气体润滑薄膜，实现被支承物体无刚性接触地悬浮，气膜内的气体最后经外部边界排出，从而构成了静压气体支承和润滑。

4.根据权利要求1所述的主动式气体轴承，其特征在于：通道（6a）封闭，高压气体通过通道（6a）进入上腔室（2），流经节流孔（5），然后扩散到均压腔（11）、下腔室（7）和两支承面（9c、13）之间的间隙（12）和，下腔室（7）作为阻尼腔，形成一层具有一定压力的气体润滑薄膜，实现被支承物体无刚性接触地悬浮，气膜内的气体最后经外部边界排出，从而构成了静压气体支承和润滑。

5.根据权利要求1所述的主动式气体轴承，其特征在于：通道（6b）封闭，高压气体通过通道（6b）进入上腔室（7），流经节流孔（10），然后扩散到均压腔（11）、上腔室（2）和两支承面（9c、13）之间的间隙（12），下腔室（2）作为阻尼腔，形成一层具有一定压力的气体润滑薄膜，实现被支承物体无刚性接触地悬浮，气膜内的气体最后经外部边界排出，从而构成了静压气体支承和润滑。

6.根据权利要求1所述的主动式气体轴承的节流孔主动调节单元（3、4）主要由压电驱动单元（3）和检测单元（4）两部分组成，驱动控制单元（8）根据检测单元（4）的检测信号生成控制信号，驱动控制压电驱动单元（3、4）通过节流孔结构单元的柔性结构（1a、1b）变形实现节流孔（5）的主动调节作用，动态调节气浮轴承气膜间隙（12）内的压强分布，从而提高气浮轴承的动刚度特性。