[发明专利]一种具有类倒棱台绒面结构的金刚线切割多晶硅片及其制绒方法

权利要求书

1.具有类倒棱台绒面结构的金刚线切割多晶硅片的制绒方法，所述具有类倒棱台绒面结构的金刚线切割多晶硅片,具有以下特征：

（1）棱数为3到10棱之间；

（2）倒棱台两底面呈近似圆形或椭圆形，或方边圆弧结合；

（3）孔底部棱台面与硅片表面的夹角范围在0°-90°之间；

（4）此结构尺寸均匀、孔径为400nm~1.5mm、孔深200~500nm；

在多晶硅硅片表面上，所述的类倒棱台绒面结构是随机分布的，并相互之间有叠加；

其特征在于，包括如下步骤：

步骤一、多晶硅硅片表面损伤层去除：用碱抛法或者酸抛法去除多晶硅硅片表面损伤层；

步骤二、黑硅制作：采用金属离子辅助刻蚀法进行黑硅制作；

步骤三、多晶硅硅片表面修正：将上制的黑硅进行表面修正、水洗后，浸入10%-45%双氧水和1%-10%添加剂的混合溶液中，在多晶硅硅片表面制得类倒棱台结构；

所述的添加剂为聚乙烯吡咯烷酮、聚羧酸钠、十八烷基二甲基胺乙内酯的混合物；

步骤四、多晶硅硅片的清洗与烘干。

2.权利要求1所述的具有类倒棱台绒面结构的金刚线切割多晶硅片的制绒方法，其特征在于步骤三的表面修正是将黑硅置于含有10%-65%硝酸，1%-25%氢氟酸的溶液中浸泡，温度为2-25℃，时间为30s-360s。

3.权利要求1所述的具有类倒棱台绒面结构的金刚线切割多晶硅片的制绒方法，其特征在于步骤三的所述的添加剂中聚乙烯吡咯烷酮、聚羧酸钠、十八烷基二甲基胺乙内酯的质量比为1-2:1-2:1-2。