[发明专利]一种八面超高真空腔体在审
| 申请号： | 201810594166.9 | 申请日： | 2018-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN108560045A | 公开（公告）日： | 2018-09-21 |
| 发明（设计）人： | 何亮;许焕峰;杜强强;邹文琴;刘文卿;徐高翔;徐永兵 | 申请（专利权）人： | 南京大学 |
| 主分类号： | C30B23/02 | 分类号： | C30B23/02 |
| 代理公司： | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人： | 陈建和 |
| 地址： | 210093 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 八棱柱 超高真空腔 腔室 法兰接口 整体机械加工 圆柱形空腔 八棱柱形 不锈钢棒 侧面法兰 超高真空 焊接法兰 腔室主体 生长腔室 真空腔室 直接制备 面加工 主腔室 法兰 腔壁 不锈钢 成型 室内 侧面 观察 加工 | ||
1.一种八面超高真空腔体，其特征是包括超高真空主腔室；所述的超高真空腔室是由不锈钢整体机械加工，由锈钢棒加工成八棱柱形式，在八棱柱内镗出圆柱形空腔；将八棱柱上下两个面加工为法兰；真空腔室的形状是八棱柱形；真空腔室的八棱柱形的8个侧面设有8-16个法兰接口；腔室主体成型后，在其八棱柱的每个侧面作为腔壁，腔壁上分别镗一或二个孔，孔直接制备法兰接口或焊接法兰。
2.根据权利要求1所述的八面超高真空腔体，其特征是，八棱柱上下两个面加工的法兰为第1、第2法兰，规格为CF200，分别用来安装样品操纵台和安装束源的法兰。
3.根据权利要求1所述的八面超高真空腔体，其特征是，真空腔室的8个侧面中相互间隔的四个面各加工一个法兰，构成第3、4、5、6法兰，第3、4、5、6法兰包括3个CF35和一个CF80法兰，所述3个CF35的法兰中心线正对腔室中心，用于MBE系统中安装蒸发源以及离子枪的备用法兰口； CF80法兰为整个腔室的真空抽气接口。
4.根据权利要求1所述的八面超高真空腔体，其特征是，腔室的8个侧面中每个侧面加工两个法兰，共16个法兰；则第7、8、9、10、11、12、13、14、15、16、17、18个法兰的装配均是通过在腔壁上镗孔,将法兰内嵌到腔壁内，采用内焊实现。
5.根据权利要求4所述的八面超高真空腔体，其特征是第7、8、9、10法兰为4个CF100法兰，并正对腔室中心，分别用来安装RHEED的电子枪、荧光屏、晶振以及观察窗。
6.根据权利要求4所述的八面超高真空腔体，其特征是第11、12、13、14法兰为4个CF100法兰正对腔室中心，作为磁力传送杆，闸板阀的接口。
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