[发明专利]COA型阵列基板及其制作方法

说明书

本发明提供一种COA型阵列基板及其制作方法。该COA型阵列基板的制作方法，通过在顶面向底面凹陷的多个第三色阻单元上形成平坦层；该平坦层对应每个第三色阻单元的顶面边缘设有一圈凸起部，使得第三色阻单元膜厚较厚的区域对应的平坦层膜厚同样较厚，降低第三色阻单元膜厚较厚的区域的穿透率，使得第三色阻单元膜厚较厚的区域与其他区域的穿透率一致，以平衡色度，达到色度均匀化，提高COA型阵列基板的色彩表现。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种COA型阵列基板及其制作方法。

背景技术

薄膜晶体管(Thin Film Transistor，TFT)是目前液晶显示装置(Liquid CrystalDisplay，LCD)和有源矩阵驱动式有机电致发光显示装置(Active Matrix Organic Light-Emitting Diode，AMOLED)中的主要驱动元件，直接关系平板显示装置的显示性能。

现有市场上的液晶显示器大部分为背光型液晶显示器，其包括液晶显示面板及背光模组(backlight module)。液晶显示面板的工作原理是在薄膜晶体管基板(Thin FilmTransistor Array Substrate，TFT Array Substrate)与彩色滤光片(Color Filter，CF)基板之间灌入液晶分子，并在两片基板上分别施加像素电压和公共电压，通过像素电压和公共电压之间形成的电场控制液晶分子的旋转方向，以将背光模组的光线折射出来产生画面。彩色滤光片包括与多个子像素对应的多个色阻单元，为多个子像素提供R(红色)、G(绿色)及B(蓝色)色彩，目前一般采用光刻胶进行制作色阻单元，由于光刻胶具有流平性不一致问题，导致实际制作中色阻单元的形状呈现凹形碗状(bowl shape)，且凹陷的幅度超过0.5um，导致子像素中心位置和边缘位置色度差异过大，导致产品色彩表现不佳。

COA(Color-filter On Array)技术是一种将彩色滤光片制作在阵列基板上的一种集成技术，能够有效的解决液晶显示装置对盒工艺中因对位偏差造成的漏光问题，并能够显著的提升显示开口率。但因为彩色滤光片下的阵列基板地形结构复杂，更加剧了彩色滤光片色阻单元的凹形碗状形状问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种COA型阵列基板的制作方法，使第三色阻单元膜厚较厚的区域与其他区域的穿透率一致，以平衡色度，达到色度均匀化，提高COA型阵列基板的色彩表现。

本发明的目的还在于提供一种COA型阵列基板，使第三色阻单元膜厚较厚的区域与其他区域的穿透率一致，以平衡色度，达到色度均匀化，提高COA型阵列基板的色彩表现。

为实现上述目的，本发明提供了一种COA型阵列基板的制作方法，包括如下步骤：

步骤S1、提供衬底基板，在所述衬底基板上形成TFT层；在所述TFT层上形成彩色光阻层；所述彩色光阻层包括多个相邻的第一色阻单元、第二色阻单元及第三色阻单元，所述多个第三色阻单元的顶面向底面凹陷；

步骤S2、在所述彩色光阻层上形成平坦层；所述平坦层对应每个第三色阻单元的顶面边缘设有一圈凸起部。

所述凸起部的宽度与第三色阻单元的宽度的比值为0.2-0.25；所述平坦层的凸起部的厚度比平坦层的其他位置的厚度高0.3um-0.5um。

通过一半色调掩模板对平坦层进行一次曝光和显影制得凸起部。

所述平坦层为负性光刻胶材料，所述半色调掩模板对应平坦层的凸起部为全透光区域，对应平坦层的其他区域为半透光区域。

所述平坦层为正性光刻胶材料，所述半色调掩模板对应平坦层的凸起部为不透光区域，对应平坦层的其他区域为半透光区域。