[发明专利]一种用于光伏电池板上的丝网印制工艺

权利要求书

1.一种用于光伏电池板上的丝网印制工艺，其特征在于，包括如下步骤：

步骤S1：硅棒切片：采用多线切割的方式将硅棒切割成正方形或圆形的硅片；

步骤S2：清洗硅片：对切下来的硅片进行清洗，然后用酸(或碱)溶液去除硅片表面30－50um厚的切割损伤层；

步骤S3：制备绒面：用碱溶液对硅片进行各向异性腐蚀，从而在硅片表面制备绒面；

步骤S4：磷扩散：采用涂布源(或液态源，或固态氮化磷片状源)进行扩散并制成PN+结，结深设为为0.3um至0.5um；

步骤S5：周边刻蚀：扩散时，硅片周边表面形成扩散层，通过掩蔽湿法腐蚀或等离子干法腐蚀并去除硅片周边的扩散层；

步骤S6：去除背面PN+结：通过湿法腐蚀或磨片法除去背面PN+结；

步骤S7：制作矽胶层：通过真空镀膜法在硅片表面覆盖一层用于提高入射率的矽胶层；

步骤S8：制作减反射膜：通过真空镀膜法、离子镀膜法，溅射法、印刷法、PECVD法或喷涂法在矽胶层表面覆盖一层用于减少反射的减反射膜，从而构成能够发电的电池芯片；

步骤S9：丝网印制：通过装片-背电极印制-烘干-背场印制-烘干-翻转-正栅线印制-烘干的方法完成背场、背电极、正栅线金属电极的制作；

步骤S10：烧结：将电池芯片烧结于镍或铜底板上；

步骤S11：测试分档：按规定参数规范，测试后进行分类。

2.根据权利要求1所述的用于光伏电池板上的丝网印制工艺，其特征在于，所述步骤S9还包括：在印制时，刮刀的刃口压强保持在10至15N/cm之间。

3.根据权利要求1所述的用于光伏电池板上的丝网印制工艺，其特征在于，所述步骤S9还包括：烘干背场时，将炉内温度设定为大于577摄氏度。

4.根据权利要求1所述的用于光伏电池板上的丝网印制工艺，其特征在于，所述步骤S7还包括：在制作矽胶层时，将硅片置于透明矽胶溶液中采用通电发热、旋转和浸渍方法进行镀胶涂敷处理，静置后取出，等到均匀覆盖在芯片上的矽胶冷却、凝固之后，再放进真空干燥箱内烘干、凝固处理1h，使硅片表面均涂有矽胶层，上述镀胶操作过程需要重复4-5次，以便获得较均匀的矽胶覆盖层。

5.根据权利要求1所述的用于光伏电池板上的丝网印制工艺，其特征在于，所述制作减反射膜的材料包括MgF2、SiO2、Al2O3、SiO、Si3N4、TiO2、Ta2O5中的一种或多种组合。