[发明专利]一种金属网格触摸屏及其制备工艺在审
| 申请号： | 201810597602.8 | 申请日： | 2018-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN108762578A | 公开（公告）日： | 2018-11-06 |
| 发明（设计）人： | 刘威;吴德生;崔子龙;俎阿敏;余立富 | 申请（专利权）人： | 信利光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G06F3/041 | 分类号： | G06F3/041 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 邓义华;廖苑滨 |
| 地址： | 516600 广东省汕*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 金属网格 制备工艺 触摸屏 黑化层 氧化物 基板 膜层 附着力 蚀刻 导电性 合金化元素 导电性能 低反射率 高反射率 工艺设计 力学性能 生产效率 显示效果 氮化铜 导电层 耐蚀性 网格层 氧化铜 侧蚀 黑化 良率 网格 粘附 制程 遮盖 保证 统一 | ||
1.一种金属网格触摸屏，其特征在于，所述金属网格触摸屏包括依次设置的：基板、第一黑化Cu合金网格层、绝缘层、第二黑化Cu合金网格层、保护层，其中，
所述第一黑化Cu合金网格层中含有氧化铜和氮化铜，并且含有氧化铝、氧化锌中的一种或两种；
所述第二黑化Cu合金网格层中含有氧化铜和氮化铜，并且含有氧化铝、氧化锌中的一种或两种。
2.根据权利要求1所述的一种金属网格触摸屏，其特征在于，所述金属网格触摸屏优选还包括：第一金属网格层、第二金属网格层、第三黑化Cu合金网格层、第四黑化Cu合金网格层；所述金属网格触摸屏的结构为依次设置的：基板、第三黑化Cu合金网格层、第一金属网格层、第一黑化Cu合金网格层、绝缘层、第四黑化Cu合金网格层、第二金属网格层、第二黑化Cu合金网格层、保护层。
3.根据权利要求2所述的一种金属网格触摸屏，其特征在于，所述第三黑化Cu合金网格层中含有氧化铜，并且含有氧化铝、氧化锌中的一种或两种；所述第四黑化Cu合金网格层中含有氧化铜，并且含有氧化铝、氧化锌中的一种或两种。
4.根据权利要求2-3中任一项权利要求所述的一种金属网格触摸屏，其特征在于，所述第一金属网格层的金属材质为铜、银、铝，第二金属网格层的材质为铜、银、铝。
5.一种制备如权利要求1所述的金属网格触摸屏工艺，其特征在于：包括以下步骤：
S100：在基板上镀覆第一黑化Cu合金层，其中，具体的镀覆气氛为50~60 vol.%氮气+4~15 vol.%氧气+25~40 vol.%氩气组成的混合气体，镀覆靶材为Cu合金，所述Cu合金的组成为：铜84~98wt.%、铝0~6wt.%、锌0~10wt.%；
S200：对镀覆的第一黑化Cu合金层进行蚀刻，得到第一黑化Cu合金网格层；
S300：在第一黑化Cu合金网格层上制备绝缘层；
S400：在绝缘层上镀覆第二黑化Cu合金层，其中，具体的镀覆气氛为50~60 vol.%氮气+4~15 vol.%氧气+25~40 vol.%氩气组成的混合气体，镀覆靶材为Cu合金，所述Cu合金的组成为：铜84~98wt.%、铝0~6wt.%、锌0~10wt.%；
S500：对镀覆好的第二黑化Cu合金层进行蚀刻，得到第二黑化Cu合金网格层；
S600：在第二黑化Cu合金网格层上制备保护层。
6.根据权利要求1所述的金属网格触摸屏工艺，其特征在于，步骤S100中第一黑化Cu合金层膜层方阻10Ω以内；步骤S400中第二黑化Cu合金层膜层方阻10Ω以内。
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