[发明专利]一种用于多晶硅铸锭炉降低铸锭碳氧含量的方法在审
| 申请号： | 201810598214.1 | 申请日： | 2018-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN108531984A | 公开（公告）日： | 2018-09-14 |
| 发明（设计）人： | 鄢俊琦;徐云飞;毛伟;雷琦;黄林;张泽兴;赖昌权 | 申请（专利权）人： | 江西旭阳雷迪高科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 南昌新天下专利商标代理有限公司 36115 | 代理人： | 谢德珍 |
| 地址： | 332000 江西省九*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 碳氧 多晶硅铸锭炉 多晶硅铸锭 硅料 护板 铸锭 坩埚 退火 抽真空处理 氮化硅浆料 装料 氩气 定向凝固 含量测试 熔融状态 石墨底板 石英坩埚 隔热笼 混合硅 进气量 脱模层 温度降 中心硅 铸锭炉 叉车 喷涂 熔融 小孔 加热 冷却 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于多晶硅铸锭炉降低铸锭碳氧含量的方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：
对石英坩埚进行喷涂氮化硅浆料作为脱模层，然后装料并在坩埚四周设置开有小孔的护板，护板尺寸长为500mm-1200mm，高为300mm-600mm，放置于石墨底板上，用叉车将料投入定向铸锭炉内；
合炉运行，抽真空处理后加热至800-900℃时通入氩气，设置进气量为50%-90%之间，继续升温至1550℃，直至硅料处于熔融状态；
然后打开隔热笼并降低设置温度，待硅料的熔融温度降至多晶硅铸锭的结晶温度后对混合硅料进行定向凝固直至完成长晶过程；
待长晶完成之后依次进行退火与冷却得到多晶硅铸锭，并取中心硅块靠近坩埚底部50mm处样片进行碳氧含量测试。
2.根据权利要求1所述的一种用于多晶硅铸锭炉降低铸锭碳氧含量的方法，其特征在于，所述的步骤（1）中护板上开设小孔的形状不限，开设的小孔总面积在50cm2-150cm2之间，小孔位置处于坩埚口至护板顶端之间。
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