[发明专利]一种桌面型软X射线波段光学元件偏振检测装置

权利要求书

1.一种桌面型软X射线波段光学元件偏振检测装置，其特征在于，在实验室内实现对光学元件的软X射线波段偏振特性进行检测，包括：

软X射线光源组件（1），用于产生软X射线光束；

软X射线起偏腔室组件（2），与软X射线光源组件（1）连接，用于对所述软X射线光束进行起偏；

360°旋转组件（3），与软X射线起偏腔室组件（2）连接，用于驱动所述软X射线起偏腔室组件（2）和软X射线光源组件（1）旋转，以获得不同偏振方向的线偏振X射线；

真空组件（4），与360°旋转组件（3）连接，用于使所述装置内部产生真空环境；

狭缝组件（5），与真空组件（4）连接，用于对所述线偏振X射线进行准直；

软X射线光强监测组件（6），与狭缝组件（5）连接，用于对经准直后的线偏振X射线进行光强监测；

样品腔室组件（7），与软X射线光强监测组件（6）连接，用于放置对经准直后的线偏振X射线进行反射的反射镜样品（702）；

探测组件（8），与样品腔室组件（7）连接，用于探测经反射镜样品（702）反射后线偏振X射线的光强；

所述狭缝组件（5）包括狭缝腔室（501）、直线导入器Ⅰ（502）和狭缝（503），所述狭缝腔室（501）分别连接真空组件（4）和直线导入器Ⅰ（502），所述狭缝（503）固定在直线导入器Ⅰ（502）上，通过直线导入器Ⅰ（502）控制狭缝（503）的位置；

所述软X射线起偏腔室组件（2）包括软X射线起偏腔室（201）以及设置于软X射线起偏腔室（201）内的多层膜起偏反射镜（202）、反射镜镜架（203）和光学固定平板（204），所述软X射线起偏腔室（201）与软X射线光源组件（1）连接，所述光学固定平板（204）固定于软X射线起偏腔室（201）底部，所述多层膜起偏反射镜（202）设置于反射镜镜架（203）上，所述反射镜镜架（203）可调整高度地设置于光学固定平板（204）上，并通过螺丝固定；

所述软X射线光强监测组件（6）包括波纹管连接件（601）、五通真空连接管（602）、同轴电极法兰（603）、BNC连接线（604）、光电二极管（605）、可见光滤片Ⅰ（606）、观察窗法兰（607）和直线导入器Ⅱ（608），所述五通真空连接管（602）分别与波纹管连接件（601）、同轴电极法兰（603）、直线导入器Ⅱ（608）和观察窗法兰（607）相连，所述光电二极管（605）通过BNC连接线（604）与同轴电极法兰（603）连接，所述光电二极管（605）固定于直线导入器Ⅱ（608）上，通过直线导入器Ⅱ（608）控制光电二极管（605）的位置，所述可见光滤片Ⅰ（606）固定于光电二极管（605）上，根据不同波长的软X射线选择不同材料的可见光滤片Ⅰ，通过改变波纹管连接件（601）长度以调整真空腔体的总长度。

2.根据权利要求1所述的桌面型软X射线波段光学元件偏振检测装置，其特征在于，所述软X射线光源组件（1）包括相连接的软X射线光源（101）和光源控制柜（102），所述软X射线光源（101）为密封管式光源。

3.根据权利要求1所述的桌面型软X射线波段光学元件偏振检测装置，其特征在于，所述360°旋转组件（3）包括差分抽旋转法兰（301）和蜗轮蜗杆旋转机构（302），所述蜗轮蜗杆旋转机构（302）连接于软X射线起偏腔室组件（2）一端，驱动软X射线起偏腔室组件（2）旋转，所述差分抽旋转法兰（301）连接于软X射线起偏腔室组件（2）另一端，并与真空组件（4）连接，所述差分抽旋转法兰（301）和软X射线起偏腔室组件（2）之间采用双O圈动密封。

4.根据权利要求1所述的桌面型软X射线波段光学元件偏振检测装置，其特征在于，所述真空组件（4）包括四通真空连接管（401）、分子泵（402）、机械泵（403）和放气阀（404），所述四通真空连接管（401）分别连接360°旋转组件（3）、分子泵（402）和放气阀（404），所述分子泵（402）与机械泵（403）连接。