[发明专利]一种MEMS柔性锰铜-康铜复合式超高压力传感器及制造方法

权利要求书

1.一种MEMS柔性锰铜-康铜复合式超高压力传感器,包括基底(2),其特征在于：基底(2)上通过MEMS工艺溅射有锰铜敏感元件(3)及其对应的四个第一电极(1)，以及康铜敏感元件(5)及其对应的四个第二电极(6)，锰铜敏感元件(3)的输入端和输出端分别连接两个第一电极(1)，康铜敏感元件(5)的输入端和输出端分别连接两个第二电极(6)，锰铜敏感元件(3)、康铜敏感元件(5)、第一电极(1)、第二电极(6)的表面上覆盖有绝缘层(4)；

所述的锰铜敏感元件(3)和康铜敏感元件(5)采用螺旋式中心对称分布，通过靶材溅射而成，锰铜敏感元件(3)和康铜敏感元件(5)共占面积在直径0.2mm圆形范围内，厚度为1μm；

所述的锰铜敏感元件(3)对应的四个第一电极(1)分布在同一侧，两个作为输入端，另外两个作为输出端；康铜敏感元件(5)对应的四个第二电极(6)分布在另一侧，两个作为输入端，另外两个作为输出端；

所述的基底(2)和绝缘层(4)采用聚酰亚胺材料，通过匀胶固化工艺制成，厚度均为15μm。

2.根据权利要求1所述的MEMS柔性锰铜-康铜复合式超高压力传感器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1：在硅片载体上涂覆一层聚酰亚胺薄膜作为基底(2)；

步骤2：在基底(2)上用磁控溅射的方法沉积锰铜敏感元件(3)及其对应的四个第一电极(1)，以及康铜敏感元件(5)及其对应的四个第二电极(6)；

步骤3：在锰铜敏感元件(3)、康铜敏感元件(5)、第一电极(1)、第二电极(6)的表面上涂覆一层聚酰亚胺薄膜作为绝缘层(4)，利用湿法腐蚀工艺使得绝缘层(4)上面漏出第一电极(1)、第二电极(6)的焊盘；

步骤4：利用硅的各向同性腐蚀液腐蚀硅片载体，将柔性传感器释放，得到MEMS柔性锰铜-康铜复合式超高压力传感器。