[发明专利]热丝夹具与热丝沉积设备及其应用与利用其得到的器具

权利要求书

1.一种热丝夹具，其特征在于，包括夹具支架，所述夹具支架上设有两基本平行设置的热丝承载棒，所述热丝承载棒表面罩设有保护罩，所述保护罩上设有用于使热丝穿设后与所述热丝承载棒接触的开孔。

2.根据权利要求1所述的热丝夹具，其特征在于，所述开孔为细长孔，所述开孔的长度方向基本垂直于两平行热丝承载棒的轴线组成的平面；

优选地，所述保护罩为长方形套筒或正方形套筒；

优选地，所述保护罩为钼质保护罩。

3.根据权利要求1或2所述的热丝夹具，其特征在于，所述夹具支架包括依次基本平行间隔设置的第一热丝固定杆、第一热丝承载棒、第二热丝承载棒和第二热丝固定杆，所述第一热丝固定杆可沿所述第一热丝承载棒的垂线方向移动；可选地，所述第二热丝固定杆可沿所述第二热丝承载棒的垂线方向移动。

4.根据权利要求3所述的热丝夹具，其特征在于，所述第一热丝承载棒上垂直连接有两根导轨，所述第一热丝固定杆滑动安装于所述导轨之间；

优选地，所述第二热丝承载棒上垂直连接有两根导轨，所述第二热丝固定杆滑动安装于所述导轨之间。

5.根据权利要求3所述的热丝夹具，其特征在于，所述热丝夹具包括：

多根热丝平行间隔设置组成的热丝组，固定连接于所述第一热丝固定杆与所述第二热丝固定杆，且与所述第一热丝承载棒和第二热丝承载棒接触；以及，

弹簧，两端分别固定连接于所述第一热丝固定杆与所述第二热丝固定杆，并与所述热丝平行；

优选地，所述弹簧至少为两根，且对称设置于所述热丝组的两侧。

6.根据权利要求3所述的热丝夹具，其特征在于，所述第一热丝承载棒和第二热丝承载棒之间设有绝缘支撑杆；

优选地，所述绝缘支撑杆为陶瓷杆。

7.根据权利要求3所述的热丝夹具，其特征在于，所述第一热丝固定杆和所述第二热丝固定杆上均设有用于缠绕固定热丝的圆柱。

8.一种热丝沉积设备，其特征在于，包括权利要求1-7任一项所述的热丝夹具。

9.如权利要求1-7任一项所述的热丝夹具或权利要求8所述的热丝沉积设备在热丝化学气相沉积法中的应用。

10.一种利用权利要求8所述的热丝沉积设备进行化学气相沉积得到的具有涂层结构的器具。