[发明专利]一种实现超真空状态的冷凝头控制系统

权利要求书

1.一种实现超真空状态的冷凝头控制系统，其特征在于，包括：冷头控制器隔离阀控制端连接隔离阀工作端，冷头控制器加热工作端连接加热器工作端，冷头控制器真空规控制端连接真空规工作端，冷头控制器清洗工作端连接清洗阀工作端，冷头控制器粗抽控制端连接粗抽阀工作端，冷头控制器电机工作端连接冷头电机工作端，冷头控制器显示工作端连接触摸屏工作端，冷头控制器远程控制端连接远程终端工作端；

温度测量电路信号输出端连接MCU温度信号输入端，真空测量电路信号输出端连接MCU真空信号输入端，远程隔离输入电路信号端连接MCU输入信号端，远程隔离输出电路信号端连接MCU输出信号端，冷头电机信号端连接电机变频驱动电路信号输出端，电机变频驱动电路信号输入端连接MCU电机工作信号端。

2.根据权利要求1所述的实现超真空状态的冷凝头控制系统，其特征在于，所述温度测量电路包括：第一温度传感器第一端分别连接第31二极管负极和第32电阻一端，第31二极管正极分别连接第34电阻一端和第一稳压器电源负极端，第32电阻另一端连接第31可调电阻一端，第31可调电阻调节端连接第33电阻一端，第33电阻另一端连接第34电阻另一端，第31可调电阻另一端连接第一稳压器电阻端，第一稳压器电源正极端分别连接第31电容一端和第30电阻一端，第31电容另一端接地，第30电阻另一端分别连接第31电阻一端和第30电容一端，第30电容另一端接地，第30电容一端还连接第10电感一端，第10电感另一端连接5V电源端，第31电阻另一端分别连接第二稳压器电源正极端和第32电容一端，第32电容另一端接地，第一温度传感器第二端连接第34电容一端，第34电容另一端分别连接第35电阻一端和第一运算放大器第一正极输入端，第35电阻另一端分别连接第31二极管负极和第33电容一端，第33电容另一端分别连接第34电容一端和接地，第二温度传感器第一端分别连接第32二极管负极和第36电阻一端，第36电阻另一端分别连接第32可调电阻一端和第32可调电阻调节端，第32可调电阻另一端连接第二稳压器电阻端，第32可调电阻调节端连接第37电阻一端，第37电阻另一端连接第38电阻一端，第38电阻另一端分别连接地点32二极管正极和第二稳压器电源负极端，第36电容一端分别连接第一运算放大器第二正极输入端和第39电阻一端，第39电阻另一端分别连接第32二极管负极和第35电容一端，第35电容另一端分别连接第36电容另一端和第二温度传感器第二端，第一运算放大器第一输出端连接第310电阻一端，第310电阻另一端连接第一称重芯片信号输入端，第一运算放大器第二输出端连接第312电阻一端，第312电阻另一端分别连接第313电阻一端和第39电容一端，第39电容另一端分别连接第313电阻另一端和第38电容一端，第38电容另一端分别连接第311电阻一端和第310电阻另一端，第311电阻另一端分别连接第38电容一端和第37电阻另一端，第一称重芯片信号输出端连接MCU温度测量信号端。