[发明专利]一种RFID芯片及其制作方法在审
申请号: | 201810604606.4 | 申请日: | 2018-06-12 |
公开(公告)号: | CN110600439A | 公开(公告)日: | 2019-12-20 |
发明(设计)人: | 何忠亮;徐光泽;沈正 | 申请(专利权)人: | 深圳市环基实业有限公司 |
主分类号: | H01L23/31 | 分类号: | H01L23/31;H01L21/56;H01L23/488;H01L23/49;H01L21/60;G06K19/077 |
代理公司: | 11429 北京中济纬天专利代理有限公司 | 代理人: | 覃婧婵 |
地址: | 518101 广东省深圳*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电极 封装胶 嵌入 制作 封装体结构 布线设计 框架间隙 芯片产品 工艺流程 承载片 键合线 无基板 附着 感抗 筋线 封装 剥离 环保 | ||
本发明涉及一种RFID芯片及其制作方法,一方面,其公开了一种RFID芯片,采用无基板的电极嵌入封装胶结构,电极嵌入在封装胶中,由于没有传统QFN电极所附着的筋线的限制,框架间隙更小、所需键合线更少,在相同感抗下,封装体结构更简单、成本更低;另一方面,相应的,其还公开了一种RFID制作方法,采用剥离式承载片的加工工艺,制作工艺流程也更简单、更环保,其芯片产品的布线设计也有了更大自由度,后续封装的效率也获得了极大提高。
技术领域
本发明属于RFID(射频识别)领域,其具体涉及一种RFID(射频识别)芯片及其制作方法。
背景技术
RFID是Radio Frequency ldentification的缩写,即,射频识别,是一种非接触式的自动识别技术,它通过射频信号自动识别目标对象,可快速地进行物品追踪和数据交换。识别工作无须人工干预,可工作于各种恶劣环境。RFID技术可识别高速运动物体并可同时识别多个标签,操作快捷方便。RFID技术诞生于第二次世界大战期间,它是传统条码技术的继承者,又称为″电子标签″或“射频标签”。
RFID芯片是物联网的关键部件,现有技术中,它的芯片封装通常是在QFN的支架上完成的,封装工艺较为复杂,且由于支架蚀刻受限于框架铜厚及支撑筋,使得这类框架的精度和应用大大受限制,图1为传统的RFID芯片结构,我们可以看到,框架的筋挡住了环形天线的连续性,需要用键合线来实现跨接,无疑对阻抗有较大影响;同时,QFN框架的铜厚通常为0.15mm-0.25mm,天线蚀刻的间隙通常是厚度的0.8倍,即,0.12mm-0.2mm,导致封装可靠性较低,获得的封装体较大,成本高、机械强度较低。
正是由于现有技术的种种缺陷,目前,亟需获得一种制作工艺流程更为简单环保,且可降低生产成本、提高封装效率的RFID芯片制作工艺,并亟需获得一种具有大感抗、小体积的RFID芯片产品;这对于积极推动我国物联网产业发展,提升核心竞争力,都具有重要的作用。
发明内容
针对现有技术存在的缺陷,本发明提供了一种RFID芯片及其制作方法,该RFID芯片采用无基板的电极嵌入封装胶结构,没有传统QFN电极所附着的筋线的限制,框架间隙更小、所需键合线更少,在相同感抗下,封装体结构更简单、成本更低;且其采用剥离式承载片的加工工艺,制作工艺流程也更简单、更环保,且芯片产品的布线设计也有了更大自由度,后续封装的效率也获得了极大提高。
本发明技术方案为:
一种RFID芯片,该RFID芯片采用无基板的电极嵌入封装胶结构,包括电极、芯片元件、及封装胶,其中,所述芯片元件通过固晶形成在电极上,所述封装胶对上述电极和芯片元件进行封装,所述电极嵌入在封装胶中。
较佳的,所述芯片元件附着在电极上,由一种以上的子芯片构成,子芯片间通过电极或键合线进行连接。
较佳的,所述子芯片的朝向一致,或者,所述键合线的朝向一致。
较佳的,所述电极的纵截面为“T”形结构或“I”形结构。
较佳的,所述电极为单层金属材料构成,所述单层金属包括如下任一或其合金:铝、金、银、镍、铜;或者,所述电极为多层金属构成,其包括内核金属和表面金属构成的多层结构,其中内核金属和表面金属包括如下任一或其任意组合:银、金、镍、铜。
较佳的,所述电极分布为多圈的环形线结构。
与上述RFID芯片的技术方案对应的,其还公开了一种RFID芯片制作方法,包括如下步骤:
步骤1)准备铜箔A、粘接层B及承载片C;
步骤2)在铜箔上选择性电镀形成电极;
步骤3)贴合铜箔A,粘接层B和承载片C;
步骤4)蚀刻除去没有被电极保护的铜箔,得到独立的封装载体;
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