[发明专利]基于微通道板的可调制X射线产生装置及方法

权利要求书

1.基于微通道板的可调制X射线产生装置，其特征在于，所述装置包括光阴极、微通道板、栅网电极、阳极靶、真空系统及高压电源；

所述微通道板的前板和背板提供偏转电压，用于使光电阴极产生的电子进行多次倍增；

所述栅网电极为两个，微通道板的背板与其中一个栅网电极形成无场区，所述栅网电极与另一个栅网电极构成均匀电场；

所述阳极靶用于使经过均匀电场加速的电子轰击后产生X射线；

所述光阴极、微通道板、栅网电极及阳极靶设置在真空系统中，所述高压电源为微通道板、栅网电极及阳极靶供电，通过调节所述偏转电压、均匀电场及阳极靶的电压实现X射线的调制。

2.如权利要求1所述的基于微通道板的可调制X射线产生装置，其特征在于，所述真空系统还包括独立的真空腔体和真空阀，光阴极、微通道板、栅网电极及阳极靶设置在所述真空腔体中，在X射线的出射方向设置真空阀，真空阀将真空腔体和真空系统连通。

3.如权利要求1所述的基于微通道板的可调制X射线产生装置，其特征在于，所述高压电源采用电阻分压供电。

4.如权利要求1所述的基于微通道板的可调制X射线产生装置，其特征在于，两个栅网电极为两个平行板。

5.如权利要求1所述的基于微通道板的可调制X射线产生装置，其特征在于，所述光阴极采用多碱光阴极。

6.基于微通道板的可调制X射线产生方法，其特征在于，所述方法为光阴极受激光照射产生电子，通过调节微通道板的偏转电压来控制电子的倍增系数，进行多次电子倍增输出二次电子，所述二次电子经过无场区后进入加速区，加速的二次电子轰击阳极靶产生X射线。

7.如权利要求6所述的基于微通道板的可调制X射线产生方法，其特征在于，所述加速区的形成方式为：通过在两个栅网电极上施加电压形成压差实现，所述两个栅网电极为两个平行板。

8.如权利要求6所述的基于微通道板的可调制X射线产生方法，其特征在于，所述阳极靶与二次电子的入射方向呈45°。