[发明专利]一种芯片封装工艺及产品有效
申请号: | 201810606043.2 | 申请日: | 2018-06-12 |
公开(公告)号: | CN110600382B | 公开(公告)日: | 2021-05-04 |
发明(设计)人: | 何忠亮;徐光泽;沈正 | 申请(专利权)人: | 深圳市鼎华芯泰科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/48 | 分类号: | H01L21/48;H01L21/67;H01L21/683;H01L23/49 |
代理公司: | 深圳世科丰专利代理事务所(特殊普通合伙) 44501 | 代理人: | 杜启刚 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安区新桥街道新*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 芯片 封装 工艺 产品 | ||
本发明涉及一种芯片封装工艺及产品,其公开了一种芯片封装工艺,由于采用剥离式封装载板的加工工艺,制作工艺流程更简单、更环保,且芯片布线设计也有了更大自由度,后续封装的效率也获得了极大提高;此外,通过该封装工艺生产出了品质更可靠、应用更广的芯片封装产品,其无电极基板,电极嵌入在封装胶中,由于没有传统QFN电极所附着的筋线的限制,框架间隙更小、所需键合线更少,封装体结构更简单、设计自由度更高、成本更低。本发明可应用于需要进行芯片加工和设计的各种行业。
技术领域
本公开属于电子技术领域,特别涉及一种芯片封装工艺及产品。
背景技术
芯片封装是集成电路的重要生产环节之一,在现有技术中,通常采用方形扁平无引脚封装(Quad Flat No-lead Package,QFN)技术,芯片封装通常是在QFN的支架上完成,封装工艺较为复杂,且由于支架蚀刻受限于框架铜厚及支撑筋,使得这类框架的精度和应用大大受限制,难以设计孤岛电极,增加I/O数会带来的生产成本和可靠性问题,限制了芯片和PCB板的设计自由度,不适用于可靠性和自由度要求高的芯片的封装及产业效率的提高。
正是由于现有技术的种种缺陷,目前,亟需获得一种制作工艺流程更为简单环保,且可降低生产成本、提高封装效率的芯片封装工艺,从而获得一种高可靠性和自由度、结构简单、且低成本的芯片封装产品;这对于积极推动我国电子技术相关产业的发展,提升核心竞争力,都具有极为重要的作用。
发明内容
针对现有技术的不足,本发明提出了一种芯片封装工艺及产品,其技术方案为:
一种芯片封装工艺,包括以下步骤:
S1、准备导电金属箔A、粘接层B及承载片C;
S2、在导电金属箔上选择性电镀形成电极,及,贴合导电金属箔A,粘接层B和承载片C;
其中:先在导电金属箔A上选择性电镀形成电极,再进行导电金属箔A、粘接层B和承载片C的贴合;或者先进行导电金属箔A、粘接层B和承载片C的贴合,后在导电金属箔A上选择性电镀形成电极;
S3、除去没有被电极保护的导电金属箔;
S4、在电极上固晶、封胶;
S5、剥离承载片C。
较佳的,其还包括步骤S6、对剥离后加工品的电极底面再次封胶。
较佳的,所述导电金属箔A为铜箔。
较佳的,所述粘接层B为耐高温的可剥胶。
较佳的,所述承载片C为金属,或合成树脂。
较佳的,步骤S2中,所述选择性电镀形成顶电极D及底电极E,该选择性电镀采用感光材料曝光显影、再图形电镀的方式,或采用模板掩模电镀法。
较佳的,所述电极分布为多圈的环形线结构。
较佳的,所述电极为单层金属材料构成,所述单层金属包括如下任一或其合金:铝、金、银、镍、铜;或者,所述电极为多层金属构成,其包括内核金属和表面金属构成的多层结构,其中内核金属和表面金属包括如下任一或其任意组合:银、金、镍、铜。
较佳的,所述电极的纵截面为“T”形结构或“I”形结构。
与上述芯片封装工艺相应的,还公开了一种芯片封装产品,所述芯片封装产品通过上述芯片封装工艺加工获得,其具有无基板的电极结构,包括电极、芯片元件、及封装胶,其中,芯片元件通过固晶形成在电极上,封装胶对上述电极和芯片元件进行封装,所述电极嵌入在封装胶中。
本公开具有以下有益效果:
1、由于采用剥离式封装载板的加工工艺,制作工艺流程更简单、更环保,且芯片布线设计也有了更大自由度,后续封装的效率也获得了极大提高;
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造