[发明专利]一种测试机台及测试方法

权利要求书

1.一种测试机台，其特征在于，所述测试机台包括：

机台壳体，包括：壳体支撑架、第一安装板、第二安装板及第三安装板，所述第一安装板固定于所述壳体支撑架的顶部，所述第二安装板固定于所述壳体支撑架的底部，所述第三安装板固定于所述第一安装板和所述第二安装板之间的所述壳体支撑架上；其中，所述第一安装板、所述第二安装板及所述第三安装板的宽度方向和Y轴方向平行；

曝光球管，固定于所述第一安装板的下方；

束光器，固定于所述曝光球管的下方，其中，所述束光器的入口套设于所述曝光球管的出光口处；

待测产品放置区，固定于所述第三安装板上，并且位于所述束光器的出口下方；其中，所述待测产品放置区沿X轴方向和Y轴方向平行设置；

体模放置区，固定于所述第三安装板上，并且位于所述待测产品放置区的一侧；其中，所述体模放置区沿X轴方向和Y轴方向平行设置；

至少一个线对卡放置区，固定于所述第三安装板上，并且位于所述待测产品放置区的一侧；其中，所述线对卡放置区与X轴方向呈一预设角度；

X、Y轴运动机构，包括X轴运动模组、Y轴运动模组、X轴原点检测模块及Y轴原点检测模块，所述X轴运动模组和所述Y轴运动模组垂直安装于所述第三安装板上，并且所述X轴原点检测模块安装于靠近所述Y轴运动模组的所述X轴运动模组的一端，作为X轴方向的滑动原点，所述Y轴原点检测模块安装于靠近所述X轴运动模组的所述Y轴运动模组的一端，作为Y轴方向的滑动原点；

至少一个取放机构，包括伸缩调节部及吸取部，所述伸缩调节部固定于所述X轴运动模组或所述Y轴运动模组上，所述吸取部固定于所述伸缩调节部的底端；

电控机构，固定于所述第二安装板上，并且分别与所述X轴运动模组、所述Y轴运动模组、所述X轴原点检测模块、所述Y轴原点检测模块及所述伸缩调节部电连接；

滤光片安装槽，固定于所述束光器下方；

固定部，固定于靠近所述第一安装板的所述壳体支撑架的两侧；

Z轴运动机构，包括分别与所述电控机构电连接的Z轴运动模组及Z轴原点检测模块，所述Z轴运动模组安装于所述固定部上；

滤光片集装盒，固定于所述Z轴运动模组上、并且位于所述束光器的一侧；

输送滤光片机构，固定于靠近所述滤光片集装盒一侧的所述固定部上；

回收滤光片机构，固定于靠近所述束光器另一侧的所述固定部上。

2.根据权利要求1所述的测试机台，其特征在于，所述测试机台还包括：至少一个金属片放置区，固定于所述第三安装板上，并且位于所述待测产品放置区的一侧；其中，所述金属片放置区与X轴方向呈一预设角度。

3.根据权利要求2所述的测试机台，其特征在于，所述金属片放置区包括钨片放置区、铝片放置区及铜片放置区中的至少一个。

4.根据权利要求3所述的测试机台，其特征在于，所述体模放置区、所述线对卡放置区及所述金属片放置区中均安装有光电传感器，其中，所述光电传感器与所述电控机构电连接。

5.根据权利要求4所述的测试机台，其特征在于，所述滤光片安装槽沿X轴方向实现插拔滤光片。

6.根据权利要求5所述的测试机台，其特征在于，

所述Z轴原点检测模块安装于靠近所述第一安装板的所述Z轴运动模组的一端，作为Z轴方向的滑动原点；

所述滤光片集装盒具有若干沿Z轴方向平行排布的滤光片放置槽、并且所述滤光片放置槽的宽度方向和Y轴方向平行，所述滤光片放置槽沿X轴方向实现插拔滤光片；其中，当所述滤光片放置槽与所述滤光片安装槽沿Z轴方向具有相同高度时，所述滤光片放置槽与所述滤光片安装槽正相对；

所述输送滤光片机构与所述滤光片安装槽沿Z轴方向具有相同高度；

所述回收滤光片机构与所述滤光片安装槽沿Z轴方向具有相同高度；

所述输送滤光片结构和回收滤光片机构与所述电控机构电连接。