[发明专利]共焦位移传感器

权利要求书

1.一种共焦位移传感器，其包括：

头单元，其包括共焦光学系统；

控制装置，其包括投光用光源，所述投光用光源被构造为产生具有多个波长的光；以及

光纤线缆，其包括用于将从所述投光用光源出射的光传送到所述头单元的光纤，

所述头单元包括光学构件，所述光学构件被构造为在经由所述光纤的端面出射的检测光中引起轴向色像差并且使所述检测光朝向测量对象会聚，并且

所述控制装置包括：

分光器，其被构造为在经由所述光学构件照射于所述测量对象的所述检测光中使如下的一部分检测光光谱分散，并且产生受光信号，其中，所述一部分检测光是通过在聚焦于所述测量对象的同时被反射而穿过所述光纤的端面的检测光；以及

测量控制部，其被构造为基于所述受光信号计算所述测量对象的位移，其中，

所述头单元包括显示部，并且

所述测量控制部基于以所述控制装置的至少一个操作状态、代表各波长的受光强度的受光波形和所述位移的测量值为基础的演算结果控制所述显示部的显示，

所述控制装置包括被构造为产生显示光的显示用光源，

所述光纤线缆包括用于传送所述显示光的多个光纤合束而获得的束状光纤或多芯光纤，并且

所述显示部利用从所述显示用光源经由用于传送所述显示光的多个光纤传送的显示光进行显示，

所述束状光纤或多芯光纤在所述显示用光源侧以用于传送所述显示光的多个光纤合束的状态与所述显示用光源光学耦合，

在所述头单元侧，用于传送所述显示光的多个光纤解除合束的状态。

2.根据权利要求1所述的共焦位移传感器，其特征在于，通过在以所述检测光的投光轴线为中心的周向布置用于传送所述显示光的多个所述光纤的出射端而形成所述显示部。

3.根据权利要求1所述的共焦位移传感器，其特征在于，所述显示部布置得比用于传送从所述投光用光源出射的光的所述光纤的出射端靠近所述控制装置侧。

4.根据权利要求1所述的共焦位移传感器，其特征在于，所述显示部布置得比构成所述光学构件的多个透镜中的与用于传送从所述投光用光源出射的光的所述光纤的出射端最接近的透镜靠近所述控制装置侧。

5.根据权利要求1所述的共焦位移传感器，其特征在于，所述测量控制部指定代表各波长的受光强度的受光波形的峰强度并且根据所述峰强度使所述显示部的显示形式不同。

6.根据权利要求1所述的共焦位移传感器，其特征在于，所述测量控制部根据计算出的位移是否在预指定范围内来使所述显示部的显示形式不同。

7.根据权利要求1所述的共焦位移传感器，其特征在于，所述测量控制部根据所述受光信号来控制所述显示部的显示。

8.根据权利要求1所述的共焦位移传感器，其特征在于，所述测量控制部基于从所述控制装置的外部输入的信号来控制所述显示部的显示。

9.根据权利要求1所述的共焦位移传感器，其特征在于，

所述光纤线缆包括用于传送从所述投光用光源出射的光的测量用光纤以及用于传送从所述显示用光源出射的光的显示用光纤，

所述光纤线缆的位于所述控制装置侧的端部分支成叉状，并且检测光用连接器和显示光用连接器分别安装到分支出的端部，并且

所述检测光用连接器和所述显示光用连接器可拆卸地连接到所述控制装置。

10.根据权利要求1所述的共焦位移传感器，其特征在于，在所述显示部上显示所述位移的测量值是否在公差范围内。

11.根据权利要求1所述的共焦位移传感器，其特征在于，所述测量控制部通过改变闪光的频率和所述闪光的图案来使所述显示部的显示不同。