[发明专利]流体输送装置

说明书

一种流体输送装置包括一槽体、一流体驱动件、一主循环管路和一气泡排除件。槽体用以容纳一流体。流体驱动件包括一流体驱动室和一旋转扇。流体驱动室连通于槽体下方。旋转扇位于流体驱动室内。当旋转扇旋转时，槽体内的流体受到旋转扇带动而从流体驱动室流出，并在流体驱动室内形成含有多个气泡的一部分流体。主循环管路包括一第一端和一第二端。第一端连通流体驱动室。第二端连通槽体。气泡排除件连通主循环管路，用以排出流体驱动室内的含有多个气泡的部分流体。

技术领域

本发明为关于一种流体输送装置，特别是可排出含有气泡的部分流体的流体输送装置。

背景技术

一般在用化学液对基板进行清洁或蚀刻工艺时，化学液是存放在一液体循环系统里。液体循环系统具有一储存槽、一泵和一流通管，储存槽用以储存化学液并连接流通管，泵设置于储存槽底部且设有旋转扇；旋转扇可以旋转以搅动化学液，以驱使储存槽内的化学液流向流通管。流通管上设置有输出口，输出口用以输出液体至晶圆上，以便对基板进行清洁或蚀刻工艺。

然而，当旋转扇旋转而搅动化学液时，或是化学液进行反应时，皆会让化学液产生气泡，且该些气泡会卡在旋转扇周围或内部。当旋转扇卡住的气泡量累积到一定程度时，会使得旋转扇空转，且进一步得造成液体输送中断，甚至是让旋转扇的旋转马达毁坏。

因此，有必要提供一种新的液体循环系统，其可排出旋转扇周围的液体所含的气泡。

发明内容

本发明的主要目的为在提供一种可排出含有多个气泡的部分流体的流体输送装置。

为达成上述的目的，本发明的一种流体输送装置。流体输送装置包括一槽体、一流体驱动件、一主循环管路和一气泡排除件。槽体用以容纳一流体。流体驱动件包括一流体驱动室和一旋转扇。流体驱动室连通于槽体下方。旋转扇位于流体驱动室内。当旋转扇旋转时，槽体内的流体受到旋转扇带动而从流体驱动室流出，并在流体驱动室内形成含有多个气泡的一部分流体。主循环管路包括一第一端和一第二端。第一端连通流体驱动室。第二端连通槽体，第一端和第二端为主循环管路相对的两端。气泡排除件连通主循环管路，气泡排除件用以排出流体驱动室内的含有多个气泡的部分流体。

根据本发明之一实施例，其中气泡排除件更包括一第一管路和一气体供应部，第一管路连通流体驱动室；气体供应部设于第一管路并提供一负压，气泡排除件藉由负压而将流体驱动室内的含有多个气泡的部分流体排出。

根据本发明之一实施例，其中气泡排除件更包括一第一管路、一第二管路和一供气部，该第一管路连通该流体驱动室，第二管路连通第一管路和槽体，供气部设于第二管路，供气部朝第二管路和槽体的连接处提供一正压，以使第一管路产生一相对负压。

根据本发明之一实施例，其中气泡排除件更包括一流量控制阀，流量控制阀设于第一管路，以控制流过第一管路的流体的流量。

根据本发明之一实施例，其中气泡排除件更包括一第三管路和一排液控制阀，第三管路连通流体驱动室，排液控制阀设于第三管路，以控制排出流体驱动室内的含有多个气泡的部分流体。

根据本发明之一实施例，流体输送装置更包括一气泡过滤件，气泡过滤件设于主循环管路。

根据本发明之一实施例，气泡排除件启动预设时间，以将流体驱动室内含有多个气泡的部分流体排出，接着启动旋转扇以将流体输送至主循环管路。

根据本发明之一实施例，气泡排除件持续运作，以将流体驱动室内含有多个气泡的部分流体持续排出。

根据本发明之一实施例，流体输送装置更包括一压力感测件，压力感测件设置于主循环管路并电性连接气泡排除件和旋转扇；当压力感测件检测流体的一压力低于一第一压力值时，气泡排除件排出流体驱动室内的含有多个气泡的部分流体。