[发明专利]一种具有缓冲工艺气体的基座在审

专利信息
申请号: 201810611394.2 申请日: 2018-06-14
公开(公告)号: CN108533890A 公开(公告)日: 2018-09-14
发明(设计)人: 朴尚元;黄载浩;朱东海 申请(专利权)人: 合肥微睿光电科技有限公司
主分类号: F16M1/00 分类号: F16M1/00;F16J15/46
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 230000 安徽省合*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 工艺气体 卡板 缓冲 内圆筒 底板 圆形弹性 圆形卡块 弹性片 卡位槽 外圆筒 凹陷 密封 密封空腔 圆形槽 底端 卡接 储存 保证
【权利要求书】:

1.一种具有缓冲工艺气体的基座,包括底板(1)、外圆筒(10)、内圆筒(11)、顶板(2)和圆筒卡板(20),所述顶板(2)的顶端中间开设有喷气孔(21),其特征在于:所述底板(1)的顶端固定连接有外圆筒(10)和内圆筒(11),且内圆筒(11)穿插在外圆筒(10)的内腔中,所述外圆筒(10)的侧壁上开设有若干个螺纹通孔(100),所述顶板(2)的底端固定连接圆筒卡板(20),所述圆筒卡板(20)的外侧壁上开设有多个螺纹槽(200),所述外圆筒(10)的内侧壁和内圆筒(11)的外侧壁之间组成卡位槽(12),所述卡位槽(12)的底端固定卡接有密封装置(3),所述密封装置(3)包括圆形卡块(30)、圆形弹性板(31)和圆形的凹陷弹性片(32),所述圆形卡块(30)的顶端中间开设有圆形槽(34),所述圆形卡块(30)的顶端通过圆形弹性板(31)固定连接凹陷弹性片(32),所述圆形卡块(30)的圆形槽(34)、圆形弹性板(31)和凹陷弹性片(32)之间组成密封空腔室(33),所述圆筒卡板(20)的底端挤压接触卡位槽(12)内的凹陷弹性片(32)上,且螺纹通孔(100)和相对应的螺纹槽(200)内通过螺栓杆(4)固定。

2.根据权利要求1所述的一种具有缓冲工艺气体的基座,其特征在于:所述螺纹通孔(100)的数目为四列,且每列上的螺纹通孔(100)数目不少于三个,其中四列的螺纹通孔(100)均匀对称分布在外圆筒(10)上。

3.根据权利要求1所述的一种具有缓冲工艺气体的基座,其特征在于:所述外圆筒(10)和内圆筒(11)的高度相同,所述底板(1)、外圆筒(10)和内圆筒(11)为一体成型结构。

4.根据权利要求1所述的一种具有缓冲工艺气体的基座,其特征在于:所述外圆筒(10)的中心垂线和内圆筒(11)的中心垂直在同一垂线上。

5.根据权利要求1所述的一种具有缓冲工艺气体的基座,其特征在于:所述螺纹槽(200)的数目为四个,且四个螺纹槽(200)均匀对称分布在圆筒卡板(20)上,所述螺纹通孔(100)的孔直径和螺纹槽(200)的槽直径均相同。

6.根据权利要求1所述的一种具有缓冲工艺气体的基座,其特征在于:所述顶板(2)和圆筒卡板(20)为一体成型结构。

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